[发明专利]真空处理装置和真空处理方法以及存储介质

权利要求书

1.一种真空处理装置，其特征在于，包括：

处理容器，在其内部对被处理体进行真空处理；

各自的一端侧与所述处理容器连接的第一排气路径和第二排气路径；

检测所述处理容器内的压力的压力检测部；

自动调整阀，其设置在所述第一排气路径，基于所述压力检测部的压力检测值和压力设定值，对排气路径的传导进行自动调整；

半固定阀，其设置在所述第二排气路径，被设定为选自预先确定的至少3个开度中的开度；

检测所述自动调整阀的开度的开度检测部；和

控制部，其在由所述开度检测部检测出的所述自动调整阀的开度检测值超过作为压力调整界限而预先确定的阈值时，输出控制信号，使所述半固定阀的开度变更为所述预先确定的开度中的其它的开度，以扩大压力调整范围，

所述阈值设定为所述自动调整阀的开度的节流侧的阈值和打开侧的阈值，

所述控制部，在所述自动调整阀的开度检测值大于所述节流侧的阈值的情况下，以提高所述第二排气路径的排气能力的方式变更所述半固定阀的开度，在所述自动调整阀的开度检测值小于所述打开侧的阈值的情况下，以降低所述第二排气路径的排气能力的方式变更所述半固定阀的开度。

2.如权利要求1所述的真空处理装置，其特征在于：

所述自动调整阀的开度的节流侧的阈值或者打开侧的阈值根据所述半固定阀选择的开度来设定。

3.如权利要求1或2所述的真空处理装置，其特征在于：

所述半固定阀的初始的开度，根据进行真空处理时的压力的压力设定值和供给到处理容器内的气体的流量设定值的组合来确定。

4.如权利要求1或2所述的真空处理装置，其特征在于：

所述半固定阀的预先确定的至少3个开度包括该半固定阀的最大开度、最小开度和最大开度与最小开度之间的开度。

5.如权利要求1或2所述的真空处理装置，其特征在于：

所述半固定阀使用能够根据控制信号来自由调整开度的阀。

6.一种真空处理方法，其是在连接有第一排气路径和第二排气路径的处理容器内对被处理体进行真空处理的方法，该真空处理方法的特征在于，包括：

将被处理体搬入到处理容器内的步骤；

将设置在所述第二排气路径且被设定为选自预先确定的至少3个开度中的开度的半固定阀，设定为根据进行真空处理时的压力的压力设定值和供给到处理容器内的气体的流量设定值的组合来确定的开度的步骤；

之后，一边通过设置在所述第一排气路径的自动调整阀来自动调整开度，使得处理容器内的压力检测值成为压力设定值，一边进行真空处理的步骤；

检测所述自动调整阀的开度的步骤；和

在检测所述自动调整阀的开度的步骤中检测出的所述自动调整阀的开度检测值超过作为压力调整界限而预先确定的阈值时，将所述半固定阀的开度变更为所述预先确定的开度中的其它的开度，以扩大压力调整范围的步骤，

所述阈值设定为所述自动调整阀的开度的节流侧的阈值和打开侧的阈值，

在所述自动调整阀的开度检测值大于所述节流侧的阈值的情况下，以提高所述第二排气路径的排气能力的方式变更所述半固定阀的开度，在所述自动调整阀的开度检测值小于所述打开侧的阈值的情况下，以降低所述第二排气路径的排气能力的方式变更所述半固定阀的开度。

7.如权利要求6所述的真空处理方法，其特征在于：

所述半固定阀的预先确定的至少3个开度包括该半固定阀的最大开度、最小开度和最大开度与最小开度之间的开度。

8.一种存储有软件的存储介质，该软件被使用于在连接有第一排气路径和第二排气路径的处理容器内对被处理体进行真空处理的装置中，该存储介质的特征在于：

所述软件包含编写有用于执行权利要求6或7所述的真空处理方法的步骤组的计算机程序。