[发明专利]抗蚀剂组合物和图案化方法

权利要求书

1.抗蚀剂组合物，包括基础聚合物和具有式(A-1)的锍盐或具有式(A-2)的碘鎓盐：

其中R¹为氢、羟基、羧基、硝基、氰基、氟、氯、溴、氨基，或者可含有氟、氯、溴、羟基、氨基或烷氧基部分的直链、支化或环状的C₁-C₂₀烷基、C₁-C₂₀烷氧基、C₂-C₂₀烷氧基羰基、C₂-C₂₀酰氧基或C₁-C₄烷基磺酰氧基，或者-NR⁷-C(＝O)-R⁸或-NR⁷-C(＝O)-O-R⁸；R⁷为氢，或者可含有卤素、羟基、烷氧基、酰基或酰氧基部分的直链、支化或环状的C₁-C₆烷基；R⁸为直链、支化或环状的C₁-C₁₆烷基或C₂-C₁₆烯基，或者C₆-C₁₂芳基，其可含有卤素、羟基、烷氧基、酰基或酰氧基部分，

X¹当p＝1时为单键或者C₁-C₂₀二价连接基团，或者当p＝2或3时为C₁-C₂₀的三价或四价连接基团，所述连接基团任选地含有氧、硫或氮原子，

Rf¹至Rf⁴各自独立地为氢、氟或三氟甲基，Rf¹至Rf⁴的至少一个为氟或三氟甲基，或者Rf¹和Rf²一起可形成羰基，

R²、R³、R⁴、R⁵和R⁶各自独立地为可含有氧代部分的直链、支化或环状的C₁-C₁₂烷基，可含有氧代部分的直链、支化或环状的C₂-C₁₂烯基，直链、支化或环状的C₂-C₁₂炔基，C₆-C₂₀芳基，C₇-C₁₂芳烷基或者C₇-C₁₂芳氧基烷基，在所述C₁-C₁₂烷基、C₂-C₁₂烯基、C₂-C₁₂炔基、C₆-C₂₀芳基、C₇-C₁₂芳烷基或者C₇-C₁₂芳氧基烷基中，至少一个氢可以被羟基、羧基、卤素、氰基、酰胺、硝基、磺内酯、砜或含有锍盐的部分取代，或者其中醚、酯、羰基、碳酸酯或磺酸酯部分可介于碳原子之间，或者R²和R³可键合在一起以与它们结合的硫原子形成环，

m为1-5的整数，n为0-3的整数，并且p为1-3的整数。

2.根据权利要求1的抗蚀剂组合物，还包括有机溶剂。