[发明专利]一种抛光液及其制备方法在审
| 申请号： | 201710506135.9 | 申请日： | 2017-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN107267991A | 公开（公告）日： | 2017-10-20 |
| 发明（设计）人： | 王飞 | 申请（专利权）人： | 合肥博之泰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C23F3/00 | 分类号： | C23F3/00 |
| 代理公司： | 合肥道正企智知识产权代理有限公司34130 | 代理人： | 张浩 |
| 地址： | 230000 安徽省合肥市肥西县上派*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 抛光 及其 制备 方法 | ||
1.一种抛光液，其特征在于，所述抛光液包括硫酸、硝酸、盐酸、硫酸铜、消泡剂、水、二氧化硅和辅助氧化剂，其中，
相对于100重量份的硫酸，所述硝酸的含量为20-30重量份，所述盐酸的含量为5-10重量份，所述硫酸铜的含量5-15重量份，所述消泡剂的含量为2-5重量份，所述水的含量为50-70重量份，所述二氧化硅的含量为2-8重量份，所述辅助氧化剂的含量为1-4重量份。
2.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述消泡剂为乳化硅油、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯中的一种或多种。
3.根据权利要求1所述的抛光液，其特征在于，所述辅助氧化剂由过氧化氢和水组成，且过氧化氢和水的体积比为1:2-3。
4.一种抛光液的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：
（1）将硫酸、硝酸、盐酸、消泡剂、水、和辅助氧化剂搅拌混合形成混合液A；
（2）将所述混合液A加热，并加入硫酸铜和二氧化硅，搅拌混合、静置后得到所述抛光液，其中，
相对于100重量份的硫酸，所述硝酸的含量为20-30重量份，所述盐酸的含量为5-10重量份，所述硫酸铜的含量5-15重量份，所述消泡剂的含量为2-5重量份，所述水的含量为50-70重量份，所述二氧化硅的含量为2-8重量份，所述辅助氧化剂的含量为1-4重量份。
5.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述消泡剂为乳化硅油、聚氧丙烯甘油醚和聚氧丙烯中的一种或多种。
6.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述辅助氧化剂由过氧化氢和水组成，且过氧化氢和水的体积比为1:2-3。
7.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（1）中搅拌速度为800-1000r/min。
8.根据权利要求4所述的制备方法，其特征在于，所述步骤（2）中加热温度为30-45℃，加热时间为5-10min。
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