[发明专利]压电石英多维力测量晶组制作装置有效

专利信息
申请号: 201710511914.8 申请日: 2017-06-29
公开(公告)号: CN107314837B 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 李映君;杨聪;王桂从;郑军海;黄舒;郇正泽;陈斯 申请(专利权)人: 济南大学
主分类号: G01L1/16 分类号: G01L1/16;G01L9/08
代理公司: 济南誉丰专利代理事务所(普通合伙企业) 37240 代理人: 李茜
地址: 250022 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要:
搜索关键词: 压电 石英 多维 测量 制作 装置
【权利要求书】:

1.一种压电石英多维力测量晶组制作装置,其特征在于主要结构有绝缘底座(1),支撑平板(2),法兰环(3、3’),支撑立柱(4、4’),测力计(5),套筒(6、6’),横梁(7),丝杠(8),横梁(9),螺母(10、10’),手轮(11),测力计支撑板(12),滑块(13),滑块(14),螺杆(15),螺杆(16),晶向夹具底座(17),压电石英多维力测量晶组(18)等部件;绝缘底座(1)上开有四个定位槽,定位槽和支撑平板(2)用螺钉将晶向夹具底座(17)固定在绝缘底座(1)上,保持晶向夹具底座(17)的上表面与绝缘底座(1)的上表面平行;晶向夹具底座(17)开有两个互相垂直的矩形槽,两个矩形槽上各开有一个螺纹孔,螺纹孔用于螺杆(15)和螺杆(16)安装,可保证螺杆(15)、螺杆(16)分别推动滑块(13)和滑块(14)在矩形槽水平方向移动,两个矩形槽重合的部分用于放置压电石英多维力测量晶组(18);法兰环(3、3’)将支撑立柱(4、4’)固定在绝缘底座(1)上,保持支撑立柱(4、4’)与绝缘底座(1)垂直;横梁(9)固定在支撑立柱(4、 4’)顶端,保持横梁(9)与绝缘底座(1)平行;横梁(7)通过套筒(6、6’)在支撑立柱(4、4’)上滑动,横梁(7)与绝缘底座(1)保持平行;丝杠(8)安装在横梁(7)和横梁(9)上,与支撑立柱(4、4’)保持平行;测力计支撑板(12)安装在横梁(7)上和绝缘底座(1)保持垂直;测力计(5)安装在测力计支撑板上,保持测力计(5)与绝缘底座(1)垂直。

2.根据权利要求1所述的一种压电石英多维力测量晶组制作装置,其特征在于:晶向夹具底座(17)上开有两个互相垂直的矩形槽,槽的各个表面比较光滑平整,两个矩形槽的内侧面与晶向夹具底座(17)上表面互相垂直,两个矩形槽的底面共面,并与晶向夹具底座(17)上表面保持平行,晶向夹具底座(17)上安装的螺杆(15)和螺杆(16) 可推滑块(13)和滑块(14)只能在槽内平稳滑动,用于调整滑块(13)和滑块(14)的具体位置;测力计(5)对压电石英多维力测量晶组(18)所施加压力载荷可控,丝杠(8)带有自锁功能,施加准确载荷后,松开手轮(11),测力计(5)对压电石英多维力测量晶组(18)施加载荷保持稳定,同时该装置可用制作压电石英一维到多维力测量晶组。

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