[发明专利]压电石英多维力测量晶组制作装置

说明书

技术领域

本发明属于以压电石英作为力敏元件的压电式传感器专用制作技术领域，特别涉及压电式多维力传感器的压电石英多维力测量晶组的装配制作。

背景技术

压电式传感器和以压电材料为核心的多分量测量系统是航空、航天、能源等领域重要的力学测量装置，具有强度高、稳定性好、较高的固有频率等特点，特别适合动态测量。在这些领域中，特别是在重载操作装备中，传感器的刚度是测量的重要参数，不仅对测量装置的总体刚度、传感器的分载与灵敏度有直接影响，也是传感器装置标定和后续解耦的基础。压电式传感器中的晶片与电极结合面接触刚度是基础性能刚度，对压电力传感器的分载效应及灵敏度，多分量测量的整体刚度及静、动态性能有直接的影响。压电石英晶组作为压电式传感器的力敏元件，精确、高质量地对压电石英多维力测量晶组制作对压电式传感器质量控制至关重要，本发明提供了一种操作方便、结构简单、制作成本低、效率高的压电石英多维力测量晶组专用制作装置。

专利CN 106153220中公开了一种压电石英晶组快速制作装置，该装置虽然可以完成压电石英晶组的制作，但该装置在压电石英晶组制作过程中，效率低，特别在多维力压电石英晶组制作过程中，操作步骤繁琐，同时，在压电石英晶组制作过程中，很难保证对压电石英晶组施加准确且稳定的机械载荷，易使压电石英晶组在制作过程中被压碎。

发明内容

本发明的目的在于提供一种压电式传感器力敏元件压电石英多维力测量晶组制作的装置，操作方便可提高压电石英多维力测量晶组生产效率和压电石英多维力测量晶组的刚度。

本发明公开的一种压电石英多维力测量晶组制作装置所采用的技术方案为: 压电石英多维力测量晶组制作装置由绝缘底座（1）,支撑平板（2）,法兰环(3、3’)，支撑立柱(4、4’),测力计(5),套筒(6、6’)，横梁（7）,丝杠（8）,横梁（9）,螺母（10、10’）,手轮(11),测力计支撑板(12),滑块(13),滑块(14),螺杆(15),螺杆(16),晶向夹具底座(17)，压电石英多维力测量晶组（18）等部分组成。所述绝缘底座（1）开有四个定位孔，通过四个螺钉将支撑平板（2）和晶向夹具底座（17）固定在绝缘底座（1）上；所述晶向夹具底座（17）开有两个互相垂直的矩形槽，槽的各个表面较光滑，可容滑块(13)和滑块(14)在对应的槽中水平滑动，可对压电石英多维力测量晶组（18）进行定位；通过转动螺杆（15）、螺杆(16)推动滑块(13)和滑块(14)压紧压电石英多维力测量晶组（18），防止滑块(13)和滑块(14)滑动。所述支撑立柱(4、4’)，通过法兰环（3，3’），用螺钉固定在绝缘底座（1）上，可保持支撑立柱（4，4’）和绝缘底座（1）垂直；所述横梁（9），通过轴肩定位，用螺母（10、10’）将横梁（9）固定在支撑立柱（4，4’）顶端，可保持横梁（9）与绝缘底座（1）平行；所述横梁（7），开有三个孔，外侧的两个孔与套筒(6、6’)焊接成一体，在支撑立柱（4，4’）的横梁（9）与支撑立柱（4，4’）下定位轴肩之间移动；所述丝杠（8），安装在横梁（7）、横梁（9）正中心开的同轴心螺纹孔上；所述测力计支撑板（12），通过四个螺钉固定在横梁（7）上；所述测力计（5），通过四个螺栓，安装在测力计支撑板（12）上，保持测力计（5）与绝缘底座（1）垂直；转动手轮(11)带动丝杠（8）转动，用于调整横梁（7）和测力计（5）的具体位置，通过测力计(5)显示力的大小，确定测力计（5）的具体位置，测力计（5）从竖直方向压紧压电石英多维力测量晶组（18）。

所述的压电石英多维力测量晶组制作装置，可实现从压电石英一维到六维力测量晶组的组装，能够有效避免在压电石英晶组组装过程中，因无法有效控制压力大小而导致装配的晶组破损问题，同时很好地解决了晶组组装过程中压电石英多维力测量晶组平行度差的问题，提高压电石英多维力测量晶组的刚度。

附图说明

图1是本发明装置的结构示意图。

图2是晶向夹具的爆炸图。

具体实施方式

下面结合具体实施例和说明书附图对本发明做进一步阐述和说明。