[发明专利]一种可移动充气式密封装置及其使用方法有效

专利信息
申请号: 201710519198.8 申请日: 2017-06-30
公开(公告)号: CN109216225B 公开(公告)日: 2020-11-24
发明(设计)人: 张建 申请(专利权)人: 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;F16J15/48
代理公司: 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 代理人: 白振宇
地址: 110168 辽*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 一种 移动 充气式 密封 装置 及其 使用方法
【权利要求书】:

1.一种可移动充气式密封装置,其特征在于:包括充气式密封圈(1)、密封圈固定槽(2)、密封装置安装钣金(4)、充气系统及排气系统,其中密封装置整体通过密封装置安装钣金(4)安装在移动工艺站(A)朝向固定工艺站(B)的一侧表面,该移动工艺站(A)与固定工艺站(B)可相对移动地连接;所述密封装置安装钣金(4)设有所述密封圈固定槽(2),所述充气式密封圈(1)容置于密封圈固定槽(2)中,该充气式密封圈(1)上设有充气嘴(6),所述充气嘴(6)在充气时与充气系统相连通,处于充气状态的充气式密封圈(1)的上表面膨胀高出所述密封圈固定槽(2),与所述固定工艺站(B)密封抵接,所述充气嘴(6)在排气时与所述排气系统相连通,处于排气状态的充气式密封圈(1)的上表面低于所述密封圈固定槽(2),所述移动工艺站(A)可相对固定工艺站(B)进行抽拉移动;

所述充气系统包括安装面板(7)及分别安装在该安装面板(7)上的减压阀A(8)、压力表A(9)、减压阀B(10)、压力表B(11)、电磁阀A(16)和三通气控阀A(14),厂务压缩空气分为两路,第一路通过所述减压阀A(8)和压力表A(9)接至电磁阀A(16),第二路通过所述减压阀B(10)和压力表B(11)接至三通气控阀A(14)的第一个接口,该三通气控阀A(14)的第二个接口与所述充气式密封圈(1)的充气嘴(6)直连,所述电磁阀A(16)与三通气控阀A(14)的第三个接口相连、进而控制三通气控阀A(14)的通断,调节减压阀B(10),使压力表B(11)示数为设定值,通过所述电磁阀A(16)实现三通气控阀A(14)与第二路压缩空气接通,完成充气动作;

所述排气系统包括安装面板(7)及分别安装在该安装面板(7)上的减压阀A(8)、压力表A(9)、减压阀B(10)、压力表B(11)、电磁阀A(16)、电磁阀B(17)、三通气控阀A(14)、三通气控阀B(12)、真空发生器(13)和消音器(15),厂务压缩空气分为两路,第一路通过所述减压阀A(8)和压力表A(9)接至电磁阀B(17),第二路通过所述减压阀B(10)和压力表B(11)接至三通气控阀B(12)的第一个接口,该三通气控阀B(12)的第二个接口与所述真空发生器(13)的第一个接口相连,真空发生器(13)的第二个接口与三通气控阀A(14)的第一个接口相连,该三通气控阀A(14)的第二个接口与所述充气式密封圈(1)的充气嘴(6)直连,三通气控阀A(14)的第三个接口与电磁阀A(16)相连,所述真空发生器(13)的第三个接口通过消音器(15)直接与大气相连通,所述三通气控阀B(12)的第三个接口与电磁阀B(17)相连、并由该电磁阀B(17)控制通断;通过所述电磁阀A(16)及电磁阀B(17)的动作,三通气控阀A(14)与第二路压缩空气断开、不再进行充气动作,同时,所述三通气控阀B(12)使得第二路压缩空气与真空发生器(13)相连,第二路压缩空气直接通过所述消音器(15)连大气,进而形成负压,完成对所述充气式密封圈(1)的排气动作。

2.根据权利要求1所述的可移动充气式密封装置,其特征在于:所述充气式密封圈(1)为环形,其高度方向截面在不充气状态呈“凹”字形,即高度方向截面的上表面为褶皱状、中间向内凹陷;所述充气式密封圈(1)处于充气状态时,高度方向截面的上表面凹陷的褶皱膨胀鼓起、高出所述密封圈固定槽(2),与所述固定工艺站(B)密封抵接。

3.根据权利要求2所述的可移动充气式密封装置,其特征在于:所述充气式密封圈(1)高度方向截面的左右两侧表面及下表面均为平面,下表面与所述密封圈固定槽(2)粘接固定。

4.根据权利要求1所述的可移动充气式密封装置,其特征在于:所述充气嘴(6)的一端通过螺纹与充气式密封圈(1)连接,另一端通过快换接头与所述充气系统或排气系统连接。

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