[发明专利]一种单晶硅抛光片的清洗方法

说明书

本发明提供了一种单晶硅抛光片的清洗方法，采用斜插篮式清洗方法对单晶硅抛光片进行清洗。所述斜插篮式清洗方法包括以下步骤：(1)取装有单晶硅抛光片的倒片片篮，将倒片片篮中最下方片槽中的单晶硅抛光片取出；(2)整理倒片片篮中的单晶硅抛光片；(3)将倒片片篮与空片篮放置在倒片器上，对齐，取斜插篮专用垫片，将斜插篮专用垫片固定在空片篮一侧的底部，使空片篮一侧向上提升一个片槽的高度；(4)倒片；(5)将斜插有单晶硅抛光片的空片篮置于清洗机中清洗。本发明提供了一种单晶硅抛光片的清洗方法,与满蓝清洗相比，有效降低了清洗过程中相邻单晶硅抛光片的蹭伤率，同时与隔片清洗相比，提高了清洗机产能和工作效率。

技术领域

本发明属于单晶硅抛光片清洗领域，尤其是涉及一种单晶硅抛光片的清洗方法。

背景技术

单晶硅抛光片是用于制备电子元器件的基础材料，随着集成电路向着短小轻薄的方向发展，封装中使用更薄的单晶硅抛光片已成为必然，厚度在350um以下的5寸单晶硅抛光片属于单晶硅抛光片薄片，单晶硅抛光片制备过程中需要清洗，单晶硅抛光片薄片在槽式清洗机内满蓝清洗时容易因前后两片叠片导致抛光面蹭伤，目前普遍的解决办法是隔片清洗，但是隔片清洗需要倒出部分单晶硅抛光片，这样既浪费了清洗机的产能，在操作员手动倒隔片过程中也增加了人为蹭伤的风险。

发明内容

有鉴于此，本发明旨在提出一种单晶硅抛光片的清洗方法，以在不浪费清洗机产能的前提下降低薄片清洗的蹭伤率。

为达到上述目的，本发明的技术方案是这样实现的：

一种单晶硅抛光片的清洗方法，采用斜插篮式清洗方法对单晶硅抛光片进行清洗。

所述斜插篮式清洗方法包括以下步骤：(1)取装有单晶硅抛光片的倒片片篮，将倒片片篮中最下方片槽中的单晶硅抛光片取出；(2)整理倒片片篮中的单晶硅抛光片，使单晶硅抛光片的竖直参考面对齐并朝向倒片片篮U形开口一侧；(3)将倒片片篮与空片篮放置在倒片器上并对齐，取斜插篮专用垫片，将斜插篮专用垫片固定在空片篮一侧的底部，使空片篮一侧向上提升一个片槽的高度；(4)倒片，将单晶硅抛光片倒入空片篮内；(5)将斜插有单晶硅抛光片的空片篮置于清洗机中清洗。

进一步的，在倒片之前，首先检查倒片片篮与空片篮，使倒片片篮与空片篮一侧斜错一个片槽后对齐，然后推动倒片器把手，将倒片片篮中的单晶硅抛光片倒入空片篮中，检查空片篮中的单晶硅抛光片，每一个单晶硅抛光片两侧相错一个片槽，呈倾斜状放置。

进一步的，所述单晶硅抛光片包括竖直参考面和弧形面。

进一步的，所述斜插篮专用垫片的厚度可以调节。

相对于现有技术，本发明所述的一种单晶硅抛光片的清洗方法具有以下优势：

本发明所述的一种单晶硅抛光片的清洗方法，利用倒片器以及倒斜专用垫片将倒片片篮中水平放置的单晶硅抛光片倾斜插入另一个空片篮，使单晶硅抛光片在空片篮中左右两侧斜错一个片槽放置，在空片篮中倾斜放置的单晶硅抛光片由于片槽的固定作用而限制了单晶硅抛光片的晃动，与满蓝清洗相比，有效降低了清洗过程中相邻单晶硅抛光片的蹭伤率，同时与隔片清洗相比，提高了清洗机产能，有效提高清洗机的工作效率。

附图说明

构成本发明的一部分的附图用来提供对本发明的进一步理解，本发明的示意性实施例及其说明用于解释本发明，并不构成对本发明的不当限定。在附图中：

图1为本发明实施例所述的单晶硅抛光片在空片篮中倾斜放置的示意图；

图2为本发明实施例所述的单晶硅抛光片的俯视结构示意图；

图3为本发明实施例所述的空片篮的俯视结构示意图；

图4为本发明实施例所述的斜插篮专用垫片的主视结构示意图。

附图标记说明：