[发明专利]真空泵

权利要求书

1.一种真空泵，其特征在于包括：

旋转体；凹部；盖体部；以及平衡圈；

所述旋转体由具有旋转叶片及圆筒部的泵转子紧固于通过马达而旋转驱动的轴而成，

所述凹部形成于所述泵转子的进气口侧端面，

所述盖体部在其外表面具有第一修正部，所述盖体部固定于所述平衡圈并覆盖所述凹部，在通过固定于所述平衡圈而固定于所述旋转体的状态下，对所述旋转体的平衡进行修正，

所述平衡圈具有第二修正部，所述平衡圈固定于在所述凹部中的所述旋转体，对所述旋转体的平衡进行修正。

2.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述盖体部在转子轴方向的位置设定在第一位置与第二位置之间，所述第一位置为所述盖体部的外表面与所述凹部的内壁的边缘一致时的位置，所述第二位置为与所述盖体部的内表面与所述泵转子的进气口侧端面一致时的位置。

3.根据权利要求2所述的真空泵，其特征在于：

所述泵转子包括：将所述凹部的内壁的边缘与所述泵转子的进气口侧端面予以连接的上升梯度的斜面。

4.根据权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于：

所述平衡圈包括第三修正部，

所述第三修正部配置在所述盖体部的外周侧，覆盖所述凹部的一部分，且兼具有覆盖功能与平衡修正功能。

5.根据权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于：

所述平衡圈、所述泵转子及所述轴，通过螺栓的共同紧固作用而彼此紧固。

6.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于：

所述轴贯穿所述泵转子而突出至所述凹部，

所述盖体部固定于所述轴的突出至所述凹部的部分。

7.根据权利要求2或3所述的真空泵，其特征在于：

所述轴贯穿所述泵转子而突出至所述凹部，

所述盖体部固定于所述轴的突出至所述凹部的部分。

8.根据权利要求1所述的真空泵，其特征在于还包括：

将所述凹部与所述盖体部的外部空间予以连接的连通路径。