[发明专利]一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法有效

专利信息
申请号: 201710537755.9 申请日: 2017-07-04
公开(公告)号: CN107513761B 公开(公告)日: 2019-08-16
发明(设计)人: 袁卫华;魏唯;程文进;龚杰洪;罗才旺;罗臻 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十八研究所
主分类号: C30B19/06 分类号: C30B19/06;C30B29/46
代理公司: 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 代理人: 周长清;徐好
地址: 410111 湖南*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 石墨舟 锁腔 托盘 滑轨 外门 内门 过渡负载 驱动机构 滑块 设计指标要求 操作便利 滑轨带动 使用寿命 整体移动 抽真空 负载锁 门移动 密封锁 拉出 推回 向内 移出 装设 自动化 承载 驱动
【权利要求书】:

1.一种石墨舟进出过渡负载锁,包括锁腔(1)、以及用于密封锁腔(1)的外门(2)和内门(3),其特征在于:所述锁腔(1)内设有滑轨(4)以及用于承载石墨舟(5)的托盘(6),所述滑轨(4)位于所述外门(2)和内门(3)之间,所述托盘(6)通过一滑块(7)装设于所述滑轨(4)上,所述锁腔(1)上设有用于驱动所述滑轨(4)的驱动机构(8),所述驱动机构(8)包括齿条(81)、齿轮(82)、密封磁流体(83)、第一联轴器(84)以及步进电机(85),所述滑轨(4)与所述齿条(81)固定连接,所述齿轮(82)与所述齿条(81)啮合,所述密封磁流体(83)设于所述锁腔(1)上,所述步进电机(85)依次通过所述第一联轴器(84)和密封磁流体(83)与所述齿轮(82)驱动连接。

2.根据权利要求1所述的石墨舟进出过渡负载锁,其特征在于:所述齿条(81)和所述齿轮(82)的齿均为人字形齿。

3.根据权利要求1所述的石墨舟进出过渡负载锁,其特征在于:所述滑轨(4)上设有梯形滑槽(41),所述滑块(7)为梯形并嵌设于所述梯形滑槽(41)内。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的石墨舟进出过渡负载锁,其特征在于:所述内门(3)与所述锁腔(1)铰接并配设有自动开关门机构(9),所述自动开关门机构(9)包括摆动气缸(91)、第二联轴器(92)、连接块(93)、旋转气缸(94)以及锁紧块(95),所述摆动气缸(91)通过所述第二联轴器(92)与所述连接块(93)相连,所述连接块(93)固设于所述内门(3)上,所述锁紧块(95)设于所述旋转气缸(94)的活塞杆上并与所述内门(3)外侧紧靠。

5.根据权利要求4所述的石墨舟进出过渡负载锁,其特征在于:所述连接块(93)和所述锁紧块(95)相对布置于所述内门(3)两侧。

6.一种石墨舟进出权利要求1至3中任一项所述的石墨舟进出过渡负载锁的方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一:打开外门(2),将托盘(6)沿着滑轨(4)拉出锁腔(1),将石墨舟(5)放置于托盘(6)上,然后将托盘(6)反向推回锁腔(1)内;

步骤二:关闭外门(2),将锁腔(1)内抽真空;

步骤三:达到设计指标要求后,打开内门(3),步进电机(85)通过第一联轴器(84)和密封磁流体(83)带动齿轮(82)旋转,齿轮(82)带动齿条(81)向内门(3)移动,齿条(81)带动滑轨(4)、滑块(7)、托盘(6)及石墨舟(5)整体移动直至石墨舟(5)移出锁腔(1)。

7.一种石墨舟进出权利要求4或5所述的石墨舟进出过渡负载锁的方法,其特征在于:包括以下步骤:

步骤一:打开外门(2),将托盘(6)沿着滑轨(4)拉出锁腔(1),将石墨舟(5)放置于托盘(6)上,然后将托盘(6)反向推回锁腔(1)内;

步骤二:关闭外门(2),将锁腔(1)内抽真空;

步骤三:达到设计指标要求后,旋转气缸(94)带动锁紧块(95)旋转使锁紧块(95)与内门(3)分离,然后摆动气缸(91)通过第二联轴器(92)和连接块(93)将内门(3)打开,最后步进电机(85)通过第一联轴器(84)和密封磁流体(83)带动齿轮(82)旋转,齿轮(82)带动齿条(81)向内门(3)移动,齿条(81)带动滑轨(4)、滑块(7)、托盘(6)及石墨舟(5)整体移动直至石墨舟(5)移出锁腔(1)。

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