[发明专利]一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法

说明书

本发明公开了一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。一种石墨舟进出上述负载锁的方法，包括以下步骤：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；关闭外门，将锁腔内抽真空；达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。本发明具有自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命等优点。

技术领域

本发明涉及水平液相外延炉，尤其涉及一种石墨舟进出过渡负载锁及其进出方法，主要用于制造红外焦平面器件。

背景技术

HgCdTe红外焦平面探测器是由CZT 基碲镉汞探测器芯片、互连铟柱区、硅读出电路、低温粘接胶、引线基板（蓝宝石、陶瓷等材料）、以及金属支撑结构组成的多层材料体系。碲镉汞探测器芯片是HgCdTe红外焦平面探测器的核心，其生产的难点主要在于HgCdTe外延材料的制备，HgCdTe外延材料的制备通常采用HgCdTe液相外延生长方法。

目前承载样片、溶剂溶液的石墨舟进出负载锁是全手动操作，即先开外门，石墨舟放入负载锁腔内，关外门，负载锁腔内抽真空，然后再开内门，通过手套箱手动拉舟出负载锁。人工拉舟不够便利，效率低，劳动强度大，且人工在锁腔内拉舟时，石墨舟与托板间存在蹭磨、影响使用寿命，石墨舟运动过程中的稳定性也较差。

发明内容

本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种自动化程度高、操作便利、效率高、不影响石墨舟使用寿命的石墨舟进出过渡负载锁。

本发明进一步提供一种石墨舟进出上述负载锁的方法。

为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：

一种石墨舟进出过渡负载锁，包括锁腔、以及用于密封锁腔的外门和内门，所述锁腔内设有滑轨以及用于承载石墨舟的托盘，所述滑轨位于所述外门和内门之间，所述托盘通过一滑块装设于所述滑轨上，所述锁腔上设有用于驱动所述滑轨的驱动机构。

一种石墨舟进出上述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，包括以下步骤：

步骤一：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；

步骤二：关闭外门，将锁腔内抽真空；

步骤三：达到设计指标要求后，打开内门，驱动机构带动滑轨向内门移动，滑轨带动滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。

作为上述技术方案的进一步改进：

所述驱动机构包括齿条、齿轮、密封磁流体、第一联轴器以及步进电机，所述滑轨与所述齿条固定连接，所述齿轮与所述齿条啮合，所述密封磁流体设于所述锁腔上，所述步进电机依次通过所述第一联轴器和密封磁流体与所述齿轮驱动连接。

所述齿条和所述齿轮的齿均为人字形齿。

所述滑轨上设有梯形滑槽，所述滑块为梯形并嵌设于所述梯形滑槽内。

一种石墨舟进出上述的石墨舟进出过渡负载锁的方法，包括以下步骤：

步骤一：打开外门，将托盘沿着滑轨拉出锁腔，将石墨舟放置于托盘上，然后将托盘反向推回锁腔内；

步骤二：关闭外门，将锁腔内抽真空；

步骤三：达到设计指标要求后，打开内门，步进电机通过第一联轴器和密封磁流体带动齿轮旋转，齿轮带动齿条向内门移动，齿条带动滑轨、滑块、托盘及石墨舟整体移动直至石墨舟移出锁腔。

作为上述技术方案的进一步改进：