[发明专利]一种纳米压印模板及其制备方法

权利要求书

1.一种纳米压印模板的制备方法，其特征在于，包括：

提供基板，在所述基板上形成遮光条，所述遮光条将所述基板分隔为多个区域，每个区域对应一个待拼接的纳米压印模板单元；

在所述基板及所述遮光条上涂覆压印胶；

将所述纳米压印模板单元压印在其对应的区域的压印胶上；

从所述基板远离所述压印胶的一侧照射紫外光，使得所述压印胶固化；

将所述纳米压印模板单元从所述压印胶上脱模；

去除所述遮光条上未固化的压印胶，以形成所述纳米压印模板。

2.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括，去除所述纳米压印模板上的所述遮光条。

3.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述遮光条由金属或者黑色树脂组成。

4.如权利要求3所述的制备方法，其特征在于，所述金属为铬、钼、铝中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，

所述基板上包括多个第一对位标记，所述纳米压印模板单元上包括与所述第一对位标记对应的第二对位标记；

所述将所述纳米压印模板单元压印在其对应的区域的压印胶上包括：

根据所述第一对位标记和第二对位标记将所述纳米压印模板单元与所述基板对位后，将所述纳米压印模板单元压印在其对应的区域的压印胶上。

6.如权利要求5所述的制备方法，其特征在于，

所述各区域和所述纳米压印模板单元为矩形；

所述第一对位标记为每个所述区域的四个顶点处由遮光条构成的十字标记，所述第二标记为设置在所述纳米压印模板单元的四个顶点处的方框标记；

或者，

所述第一对位标记为设置在每个所述区域的四个顶点处的方框标记，所述第二标记为设置在所述纳米压印模板单元的四个顶点处的十字标记。

7.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：将所述纳米压印模板作为母版，进行复制获得由柔性材料制成的纳米压印模板。

8.如权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述方法还包括：

通过电子束刻蚀和干刻工艺形成所述纳米压印模板单元；

或者，

通过电子束刻蚀和干刻工艺形成纳米压印模板单元母版后，进行复制获得柔性材料制成的所述纳米压印模板单元。

9.如权利要求7或8所述的制备方法，其特征在于，所述柔性材料为聚二甲基硅氧烷或者含氟聚合物。

10.一种使用权利要求1至9任一所述的纳米压印模板的制备方法制备的纳米压印模板。