[发明专利]一种电子封装用Cu/Ag(Invar)复合材料的制备方法有效
申请号: | 201710548696.5 | 申请日: | 2017-07-07 |
公开(公告)号: | CN107312945B | 公开(公告)日: | 2018-09-14 |
发明(设计)人: | 汤文明;张昕;吴玉程 | 申请(专利权)人: | 合肥工业大学 |
主分类号: | C22C1/04 | 分类号: | C22C1/04;C22C9/00;C22C30/02;B22F1/02;C23C18/44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 电子 封装 cu ag invar 复合材料 制备 方法 | ||
一种电子封装用Cu/Ag(Invar)复合材料的制备方法,采用主盐为AgNO3,还原剂为KNaC4H4O6的化学镀溶液体系对平均粒径为25‑50 um的Invar粉体进行化学镀Ag,制备出化学镀Ag(Invar)复合粉体,以Ag(Invar)复合粉体与平均粒径为25‑50 um的Cu粉为原料,按照30‑50 wt%Cu的成分配料后,加入原料粉体总量0.5wt%的硬脂酸锌作为润滑剂,双轴滚筒混料,300‑600 MPa单向压制,高纯H2气氛保护,650‑800℃保温1‑3 h常压烧结制备Cu/Ag(Invar)复合材料,并采用多道次冷轧+退火的形变热处理工艺实现复合材料的近完全致密化。采用上述工艺制备的40 wt%Cu/Ag(Invar)复合材料可达致密度99%,硬度为HV256,热膨胀系数11.2×10‑6 K‑1,热导率53.7 W·(m·K)‑1,综合性能优异,可用作高性能电子封装热沉材料。
技术领域
本发明涉及一种金属基复合材料的制备方法,具体地说是一种Cu/Ag(Invar)复合材料的制备方法,属于新材料及其制备工艺领域。
背景技术
Cu/Invar合金复合材料综合了Cu的高导电、高导热性能和Invar合金零膨胀特性,可望成为一种理想的新型电子封装热沉材料,满足超大规模集成电路及电力电子器件发展对封装材料高热耗散、与半导体和陶瓷基板低热膨胀系数失配及高可靠性的性能需求。但该金属基复合材料的开发利用需要解决:1)烧结制备过程中易发生Cu/Invar界面原子扩散,导致复合材料中Cu及Invar合金组分成分变化,从而导致Cu导电、导热性能及Invar合金低热膨胀性能严重下降;2)复合材料致密化等的关键技术问题。本发明采用Invar合金粉体颗粒表面化学镀的方法在Cu/Invar界面设置Ag阻挡层,有效抑制Cu/Invar界面原子扩散,并采用粉末冶金+形变热处理(冷轧+退火)工艺实现近完全致密化成型,从而制备出一种用于电子封装的高性能Cu/Ag(Invar)复合材料。
目前,常见的Cu基复合材料制备方法主要有:热压固结法、挤压铸造法、真空压力浸渍法、粉末冶金法等。由于热压固结法、挤压铸造法、真空压力浸渍法制备工艺复杂,对设备要求高,成本高昂,难以大批量生产;挤压铸造法还因为制备过程中要施加的压力较大,难生产形状复杂和壁薄的复合材料,易出现氧化夹杂物、孔洞、气泡等缺陷;真空压力浸渍法还因为需要第二相增强体作为骨架,对增强体含量有一定要求。粉末冶金法具有:1) 烧结温度低,可有效降低复合材料体系中的界面扩散与反应;2) 易于实现增强体含量的连续变化,实现增强体在基体中均匀分布,提高了材料结构与性能的一致性;3) 工艺简单易行,成本较低等优点,因此,成为制备Cu/Ag(Invar)合金复合材料优选的工艺。但是,粉末冶金难以实现Cu/Ag(Invar)合金复合材料的完全致密化,本发明形变热处理工艺,即多道次冷轧工艺进一步提高该复合材料的致密度,接近完全致密,冷轧后的坯体再经过退火处理消除复合材料内部的残余应力、消除组织畸变,从而大大优化复合材料的显微组织结构,提高复合材料性能。上述Cu/Ag(Invar)合金复合材料的材料设计及制备方法均为本发明专利独创,国内外未见公布。
发明内容
本发明旨在提供一种Cu/Ag(Invar)合金复合材料的制备方法,所要解决的技术问题是通过优化界面设计及工艺参数,改善Cu/Ag(Invar)合金复合材料的组织结构,提高其力学及热物理性能。
本发明采用化学镀工艺制备Ag包Invar的Ag(Invar)合金粉体,并与一定量的Cu粉体配料混合,采用常压烧结的粉末冶金工艺实现Cu/Ag(Invar)合金复合材料的低成本制备,再采用冷轧+退火的形变热处理工艺,实现复合材料的致密化。复合材料的力学及热物理性能大幅提高,满足电子封装领域对热沉材料日益提高的性能要求,促进相关产业发展。
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