[发明专利]一种阵列基板和显示面板在审
申请号: | 201710549910.9 | 申请日: | 2017-07-06 |
公开(公告)号: | CN107591412A | 公开(公告)日: | 2018-01-16 |
发明(设计)人: | 卓恩宗;樊堃 | 申请(专利权)人: | 惠科股份有限公司;重庆惠科金渝光电科技有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;G02F1/1368 |
代理公司: | 深圳市百瑞专利商标事务所(普通合伙)44240 | 代理人: | 邢涛 |
地址: | 518000 广东省深圳市石岩街道水田村民营*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 阵列 显示 面板 | ||
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:
一基板,所述基板包括多个开关组件;其中,所述开关组件包括:
栅电极,形成在所述基板上表面;
栅极绝缘层,形成在所述栅电极和基板上表面,覆盖所述栅电极;
半导体层,形成在所述栅极绝缘层上表面,且位于所述栅电极上方,所述半导体层由硅锗氧化物形成,所述半导体层形成有沟道部;
源电极,形成在所述栅极绝缘层和半导体层表面,且位于所述沟道部一侧;
漏电极,形成在所述栅极绝缘层和半导体层表面,且位于所述沟道部另一侧。
2.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述半导体层包括掺杂层和有源层;
所述掺杂层位于所述半导体层顶部,且被所述沟道部隔开,形成两部分,与所述漏电极相邻的部分和与所述源电极相邻的部分;
所述有源层位于所述半导体层底部,所述掺杂层位于所述有源层上表面。
3.如权利要求2所述的阵列基板,其特征在于,所述掺杂层包括第一掺杂层和第二掺杂层;
所述第二掺杂层位于所述半导体层顶部,所述第一掺杂层位于所述半导体层底部,且位于所述第二掺杂层和有源层之间;
所述第二掺杂层的掺杂浓度大于所述第一掺杂层的掺杂浓度。
4.如权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述阵列基板还包括:
保护层,形成在源电极和漏电极上表面,覆盖所述源电极和漏电极,且所述保护层位于所述沟道部上方;
导电层,形成在所述保护层上表面,且由所述沟道部隔开。
5.如权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述导电层是氧化物导电体层。
6.如权利要求4所述的阵列基板,其特征在于,所述导电层是金属层。
7.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述栅极绝缘层由氮化硅形成。
8.根据权利要求1所述的阵列基板,其特征在于,所述栅极绝缘层是氧化物绝缘膜形成。
9.一种阵列基板,其特征在于,包括:
一基板,所述基板包括多个开关组件;其中,所述开关组件包括:
栅电极,形成在所述基板上表面;
栅极绝缘层,形成在所述栅电极和基板上表面,覆盖所述栅电极;
半导体层,形成在所述栅极绝缘层上表面,且位于所述栅电极上方,所述半导体层由硅锗氧化物形成,所述半导体层形成有沟道部;
源电极,形成在所述栅极绝缘层和半导体层表面,且位于所述沟道部一侧;
漏电极,形成在所述栅极绝缘层和半导体层表面,且位于所述沟道部另一侧;
保护层,形成在源电极和漏电极上表面,覆盖所述源电极和漏电极,且所述保护层位于所述沟道部上方;
导电层,形成在所述保护层上表面,且由所述沟道部隔开;
其中,所述半导体层包括掺杂层和有源层;所述掺杂层位于所述半导体层顶部,且被所述沟道部隔开,形成两部分,与所述漏电极相邻的部分和与所述源电极相邻的部分;所述有源层位于所述半导体层底部,所述掺杂层位于所述有源层上表面;所述掺杂层包括第一掺杂层和第二掺杂层;所述第二掺杂层位于所述半导体层顶部,所述第一掺杂层位于所述半导体层底部,且位于所述第二掺杂层和有源层之间;所述第二掺杂层的掺杂浓度大于所述第一掺杂层的掺杂浓度。
10.一种显示面板,其特征在于,包括如权利要求1-8任一所述的阵列基板;还包括:
多个像素单元,设置于阵列基板的显示区域;
控制单元,与像素单元耦合;
彩膜基板,与阵列基板相向设置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的