[发明专利]一种石墨舟自动装卸片设备

说明书

本发明公开了一种石墨舟自动装卸片设备，涉及太阳能电池自动化设备技术领域；包括硅片上下料机构和硅片装卸片机构，硅片上下料机构位于硅片装卸片机构的一侧；硅片上下料机构包括料盒传送装置、料盒升降装置以及硅片传送装置，硅片装卸片机构包括中转盒装置、XY平台装置、插片装置以及石墨舟，本发明的有益效果是：适应电池片生产厂商的自动化生产要求，降低了劳动成本，减少了生产损耗，提高的硅片镀膜的效率。

技术领域

本发明涉及太阳能电池自动化设备技术领域，更具体的说，本发明涉及一种石墨舟自动装卸片设备。

背景技术

PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电（或另加发热体）使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。

石墨舟作为硅片载体电极，硅片必须放置在石墨舟上才能进行镀膜工艺。在硅太阳能电池制造过程中，在进行硅片表面镀膜时，首先将未镀膜的硅片插入到石墨舟中，将载有硅片的石墨舟放置在PECVD真空镀膜设备（简称PECVD设备）腔体中，采用合适的PECVD工艺对硅片进行镀膜；镀膜结束后，从真空镀膜设备腔体中取出石墨舟然后再将镀膜的硅片从石墨舟取下来。现有技术中一般采用六轴机器人将未镀膜的硅片插入到石墨舟中，但六轴机器人造价昂贵，提高了生产制造的成本。

发明内容

为了克服现有技术的不足，本发明提供种石墨舟自动装卸片设备，该设备能够实现硅片的自动装卸，减少了生产制造成本，降低了生产损耗。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种石墨舟自动装卸片设备，其改进之处在于：包括硅片上下料机构和硅片装卸片机构，所述硅片上下料机构位于硅片装卸片机构的一侧；

所述硅片上下料机构包括料盒传送装置、料盒升降装置以及硅片传送装置，所述的料盒传送装置包括上料盒传送线和下料盒传送线，所述上料盒传送线位于下料盒传送线上方，所述上料盒传送线用于将装有未镀膜硅片的硅片承载盒传送至料盒升降装置上，所述下料盒传送线用于接收料盒升降装置传送的硅片承载盒；所述料盒升降装置位于上料盒传送线和下料盒传送线的后方，料盒升降装置用于带动硅片承载盒上下运动；所述硅片传送装置位于料盒升降装置后方，硅片传送装置用于在料盒升降装置和硅片装卸片机构之间实现硅片的传送；

所述硅片装卸片机构包括中转盒装置、XY平台装置、插片装置以及石墨舟，所述中转盒装置位于硅片传送装置后方，中转盒装置用于放置待传送的硅片；所述XY平台装置位于所述石墨舟上方，所述的插片装置设置在XY平台装置上，该插片装置通过XY平台装置的带动而运动，插片装置用于将中转盒装置中的硅片取出并放入石墨舟内，以及将石墨舟内的硅片取出并放入中转盒装置中。

在上述的结构中，所述的上料盒传送线和下料盒传送线均包括传送架、第一电机以及第一传送皮带；

所述第一传送皮带转动安装在传送架上，所述第一电机固定在传送架的侧边上，第一电机用于带动第一传送皮带转动，所述第一传送皮带上用于放置硅片承载盒。

在上述的结构中，所述的硅片上下料机构还包括硅片缓存装置，该硅片缓存装置设置在料盒升降装置后方，硅片缓存装置用于暂存硅片传送装置传送的硅片。

在上述的结构中，所述的硅片缓存装置包括缓存盒、第一固定座、伸缩杆以及驱动装置；

所述伸缩杆穿过于第一固定座，所述缓存盒固定在所述伸缩杆的顶端上，所述驱动装置用于驱动伸缩杆带动缓存盒往复运动；