[发明专利]致动传感模块

权利要求书

1.一种致动传感模块，包含：

一芯片；

至少一个传感器，沉积于该芯片上；以及

至少一个致动装置，封装于该芯片上，并设有一通道，且该通道位于该传感器一侧，该致动装置受驱动而致动压缩一流体，使该流体流入该致动装置中，经压缩后由该通道流出，使通道内的流体产生压力梯度，该流体垂直于该传感器的一侧面流动，并从该侧面通过该传感器，以令该传感器量测所接收之该流体。

2.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该流体为气体。

3.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该流体为液体。

4.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该芯片系为一特殊应用芯片，该传感器与该致动装置系封装整合于上。

5.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该芯片系为一系统单芯片，该传感器与该致动装置封装整合于上。

6.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该芯片上更蚀刻一感测通道，该传感器系沉积于该感测通道，并与该致动装置之该通道相连通。

7.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一氧气传感器、一一氧化碳传感器及一二氧化碳传感器之至少其中之一任意组合而成之群组。

8.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一液体传感器。

9.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一温度传感器、一液体传感器、及一湿度传感器至少其中之一任意组合而成之群组。

10.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一臭氧传感器。

11.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一微粒传感器。

12.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一挥发性有机物传感器。

13.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该传感器包含一光传感器。

14.如权利要求1所述的致动传感模块，其中该致动装置为一流体致动器。

15.权利要求14所述的致动传感模块，其中该流体致动器为一微机电系统泵。

16.权利要求14所述的致动传感模块，其中该流体致动器为一压电致动泵。

17.权利要求16所述的致动传感模块，其中该流体致动器包括：

一进气板，具有至少一进气孔、至少一总线孔及构成一汇流腔室之一中心凹部，其中该至少一进气孔供导入流体，该总线孔对应该进气孔，且引导该进气孔之流体汇流至该中心凹部所构成之该汇流腔室；

一共振片，具有一中空孔对应于该汇流腔室，且该中空孔之周围为一可动部；以及

一压电致动器，与该共振片相对应设置；

其中，该共振片与该压电致动器之间具有一间隙形成一第一腔室，以使该压电致动器受驱动时，使流体由该进气板之该至少一进气孔导入，经该至少一总线孔汇集至该中心凹部，再流经该共振片之该中空孔，以进入该第一腔室内，由该压电致动器与该共振片之可动部产生共振传输流体。