[发明专利]致动传感模块

说明书

一种致动传感模块，包含：一芯片；一传感器，沉积于该芯片上；以及一致动装置，封装于该芯片上，并设有一通道，且该通道位于该传感器一侧，该致动装置受驱动而致动压缩改变容积产生流体汲取作动，由该通道流出产生对流，以通过该传感器上量测所接收之流体。

技术领域

本案关于一种致动传感模块，尤指一种可应用于电子装置中，以监测环境之致动传感模块。

背景技术

目前人类在生活上对环境的监测要求愈来愈重视，例如一氧化碳、二氧化碳、挥发性有机物(Volatile Organic Compound，VOC)、PM2.5等等环境的监测，环境中这些气体暴露会对人体造成不良的健康影响，严重的甚至危害到生命。因此环境监测纷纷引起各国重视，要如何去实施环境监测是目前急需要去重视的课题。

可携式之电子装置在现代生活中被广泛使用及应用，也是不可缺的电子装置，因此利用此可携式之电子装置来监测周围环境气体是可行的，若又能实时提供监测信息，警示处在环境中的人，能够实时预防或逃离，避免遭受环境中的气体暴露造成人体健康影响及伤害，所以利用可携式之电子装置来监测周围环境是非常好的应用。

然，在电子装置中提供额外传感器来监测环境，虽能向电子装置之用户提供关于该使用者之环境的较多信息，但对于监测敏度、精准之最佳效能就需要去考虑，例如，传感器单靠环境中流体自然流通之引流，不仅无法获取稳定、一致性之流体流通量以进行稳定监测，且环境中流体自然流通之引流要到达接触传感器之监测反应作用时间较长，因此会影响到实时监测之成效。

有鉴于此，要如何能够提供解决传感器之监测准度及如何增进传感器之监测反应速度等问题，实为目前迫切需要解决之问题。

发明内容

本案之主要目的在于提供一种致动传感模块，由一传感器结合一流体致动器整合于一芯片上的模块设置，流体致动器能加快流体产生对流，并提供稳定、一致性之流量，让传感器能获取该稳定、一致性之流体流通量以直接监测，且有效缩短传感器之监测反应作用时间，达成精准之监测。

为达上述目的，本案之较广义实施态样为提供一种致动传感模块，包含：一芯片；一传感器，封装于该芯片上；以及一流体致动器，封装于该芯片上，并设有一通道，且该通道位于该传感器一侧，该流体致动器受驱动而致动压缩改变容积产生流体汲取作动，由该通道流出产生对流，以通过该传感器上量测所接收之流体。

附图说明

图1A所示为本案致动传感器模块之相关构件剖面示意图。

图1B所示为本案致动传感器模块之致动装置采以流体致动器之作动示意图。

图2A所示为本案致动传感器模块之相关构件封装于于芯片上整合成特殊应用芯片(ASIC)型态之说明示意图。

图2B所示为本案致动传感器模块之相关构件封装于芯片上整合成系统单芯片(SOC)型态之说明示意图。

第3A及3B图所示分别为本案致动传感器模块之致动装置采以流体致动器于不同视角之分解结构示意图。

图4所示为图3A及图3B所示之压电致动器之剖面结构示意图。

图5所示为本案致动传感器模块之流体致动器之剖面结构示意图。

图6A至图6E所示为本案致动传感器模块之致动装置采以流体致动器作动之流程结构图。

附图标记说明

1：致动传感模块

11：芯片

12：传感器

13：致动装置、流体致动器

130：第一腔室

131：导流板