[发明专利]基板保持器及使用该基板保持器的镀覆装置

权利要求书

1.一种基板保持器，其具有：

第一保持构件，其具有构成为能够与基板接触的第一面；及

第二保持构件，其与所述第一保持构件一起夹着所述基板来保持所述基板；

所述第一保持构件具有定位构件，所述定位构件将接触于所述第一面的所述基板定位于所述第一面的规定位置，

所述定位构件构成为在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置，所述定位构件与所述基板的周缘部接触、并将所述基板定位于所述第一面的规定位置，所述第二位置为不与所述基板接触的位置，

所述第二保持构件具有驱动构件，所述驱动构件构成为在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板时，使所述定位构件位于所述第一位置，

所述定位构件及所述驱动构件由刚性体形成，

所述定位构件具有前端部，

所述前端部分支成第一前端部与第二前端部，

所述第一前端部在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板的状态下位于所述基板的径方向内侧，

所述第二前端部在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板的状态下比所述第一前端部位于靠所述基板的径方向外侧，

所述第一前端部构成为能够与所述基板接触，

所述第二前端部构成为能够与所述驱动构件接触。

2.如权利要求1所述的基板保持器，其中，所述定位构件和所述驱动构件中的至少一者由芳香族聚醚酮形成。

3.如权利要求1所述的基板保持器，其中，所述驱动构件由合成树脂形成。

4.如权利要求1所述的基板保持器，其中，具有施力构件，其配置于所述第一保持构件或所述第二保持构件与所述定位构件之间，向所述第二位置对所述定位构件施力。

5.如权利要求1所述的基板保持器，其中，具有销，其转动自如地支承所述定位构件，

所述定位构件通过以所述销为中心转动，而在所述第一位置与所述第二位置之间移动。

6.如权利要求1所述的基板保持器，其中，所述第一保持构件具有引导构件，所述引导构件将所述基板引导至所述第一面上的规定位置。

7.如权利要求1所述的基板保持器，其中，所述第一保持构件或所述第二保持构件具有：基板密封构件，其密封所述第二保持构件与所述基板之间；保持器密封构件，其密封所述第二保持构件与所述第一保持构件之间。

8.如权利要求1所述的基板保持器，其中，具有向所述基板供电的供电部，

所述供电部构成为能够在所述基板的周方向的95％以上的长度范围与所述基板接触。

9.一种基板保持器，其具有：

第一保持构件，其具有构成为能够与基板接触的第一面；及

第二保持构件，其与所述第一保持构件一起夹着所述基板来保持所述基板；

所述第二保持构件具有定位构件，所述定位构件将接触于所述第一面的所述基板定位于所述第一面的规定位置，

所述定位构件构成为在第一位置与第二位置之间移动，在所述第一位置，所述定位构件与所述基板的周缘部接触、并将所述基板定位于所述第一面的规定位置，所述第二位置为不与所述基板接触的位置，

所述第一保持构件具有驱动构件，所述驱动构件构成为在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板时，使所述定位构件位于所述第一位置，

所述定位构件及所述驱动构件由刚性体形成，

所述定位构件具有前端部，

所述前端部分支成第一前端部与第二前端部，

所述第一前端部在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板的状态下位于所述基板的径方向内侧，

所述第二前端部在由所述第一保持构件与所述第二保持构件保持所述基板的状态下比所述第一前端部位于靠所述基板的径方向外侧，

所述第一前端部构成为能够与所述基板接触，

所述第二前端部构成为能够与所述驱动构件接触。