[发明专利]片输送装置、片层叠装置以及层叠型电子部件的制造方法

说明书

本发明提供一种能够抑制基于热的片的变形的片输送装置等、具备该片输送装置的片层叠装置、以及层叠型电子部件的制造方法。该片输送装置(2)输送片(5)，具备：第1保持部(10)，具有保持片(5)的第1保持面(11)；第2保持部(20)，具有保持片(5)的第2保持面(21)，在被加热的状态下，经由保持于第1保持部(10)的片(5)而与第1保持面(11)相接，从第1保持部(10)接受片(5)并由第2保持面(21)保持；和冷却部(30)，在第1保持部(10)未保持片(5)的状态下，与第1保持面(11)接触来冷却第1保持部(10)。

技术领域

本发明涉及输送片的片输送装置、具备该片输送装置的片层叠装置、以及层叠型电子部件的制造方法。

背景技术

以往，已知输送陶瓷生片等的片输送装置以及具备该片输送装置的片层叠装置。

作为这种片输送装置以及片层叠装置的一个例子，专利文献1中公开了以下装置，该装置具备：供给台(第1保持部)，供给陶瓷生片；和压接头(第2保持部)，从该供给台接受并输送陶瓷生片，与层叠夹具堆叠。在该装置中，通过使用被加热的压接头来堆叠陶瓷生片，在短时间内将陶瓷生片堆叠压接。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：JP特开2003-145522号公报

但是，在专利文献1中公开的片输送装置以及片层叠装置中，在从供给台交接陶瓷生片时，可能被加热的压接头接近于供给台，供给台的温度上升。若供给台的温度上升，则产生载置于供给台上的陶瓷生片热膨胀并变形的问题。

发明内容

因此，本发明的目的在于，提供一种能够抑制基于热的片的变形的片输送装置等。

为了实现上述目的，本发明的一方式的片输送装置是一种输送片的片输送装置，具备：第1保持部，具有保持所述片的第1保持面；第2保持部，具有保持所述片的第2保持面，在被加热的状态下，经由保持于所述第1保持部的所述片而与所述第1保持面相接，从所述第1保持部接受所述片并由所述第2保持面保持；和冷却部，在所述第1保持部未保持所述片的状态下，与所述第1保持面接触来冷却所述第1保持部。

这样，由于片输送装置具备冷却第1保持部的冷却部，因此即使发生例如加热的状态的第2保持部与第1保持部相接、第1保持部温度上升的情况，也能够冷却第1保持部并降低第1保持部的温度。由此，能够抑制保持于第1保持部的片的热变形。

此外，也可以在第1保持面形成有多个吸引孔。

这样，由于在第1保持面设置吸引孔，因此能够使用吸引来稳定保持片。此外，例如在吸引冷却部的情况下，能够提高第1保持面与冷却部的紧贴性。由此，能够均匀地冷却第1保持面，能够抑制保持于第1保持部的片的热变形。

此外，电可以所述第1保持部在所述冷却部与所述第1保持面接触时，使用所述多个吸引孔来吸引所述冷却部。

根据该构成，能够提高冷却部与第1保持面接触时的相互紧贴性。由此，能够使第1保持面紧贴，均匀地冷却第1保持面，因此能够抑制保持于第1保持部的片的热变形。

此外，也可以所述第1保持部具有温度传感器。

由此，例如能够基于温度传感器的测量值，改变使冷却部与第1保持部接触的时间。由此，能够均匀地保持第1保持部的温度，能够抑制保持于第1保持部的片的热变形。

此外，也可以还具备位置检测部，对保持于所述第1保持部或者所述第2保持部的所述片的保持位置进行检测。

由此，例如，能够基于由位置检测部检测的片的保持位置，修正片的位置。由此，能够高精度地输送片。