[发明专利]一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具

权利要求书

1.一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，包括上真空腔板(1)、下真空腔板(2)和真空排气管(3)，其特征在于：

所述的真空吸附夹具由真空吸附夹具由上真空腔板(1)和下真空腔板(2)通过定位孔(1-1)和定位螺纹孔(2-1)螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边(1-3)将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板(1)的真空吸附孔阵列(1-2)区域，裸露的真空吸附孔阵列(1-2)采用蓝膜覆盖，下真空腔体(2)内部镂空为中空腔体(4)，并加工真空排气孔(2-2)紧配合真空排气管(3)，真空吸附夹具的抽气通道依次为下真空排气管(3)、真空排气孔(2-2)、中空腔体(4)和真空吸附孔阵列(1-2)，当测试样品上下表面形成压差，测试样品就牢固地吸附在测试平台上，测试完成后，停止抽气即可取下样品。

2.根据权利要求1所述的一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，其特征在于：所述的真空排气管(3)采用不锈钢材料。

3.根据权利要求1所述的一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具，其特征在于：所述的上真空腔板(1)和下真空腔板(2)采用FR-4环氧玻璃纤维板、聚碳酸酯板或PMMA有机玻璃板透光材料。