[发明专利]一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具

说明书

技术领域

本发明公开了一种宝石电极板真空吸附夹具，特别是一种用于高密度布线的宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具。

背景技术

红外探测器组件是红外探测系统的核心元件，在航天和军事等领域有广泛的应用。组件大多数需要工作在低温，为了消除探测器芯片与基板之间的应力,一般采用与红外探测器芯片热匹配的材料进行信号引出,蓝宝石具有低出气率及与探测器材料应力匹配的优点,是目前红外探测器组件应用最多的一种引线基板材料。随着红外探测器组件的规模越来越大,宝石电极板布线密度越来越大,引线间距已经小于100μm，电极金层互联短路和铬残留已经影响到宝石电极板的成品率,采用万用表测试和显微镜镜检已经无法满足高密度布线宝石电极板成品率的筛选。飞针测试设备是一种PCB板内部各网络节点的通断关系，以及内部网络之间内埋电容、电阻、电感值、二极管、三极管的常规检测手段，由于其测试效率高、测试过程可以无压痕和定位精度高的优点，特别适合宝石电极板的通断检测。飞针设备用于高密度布线电极板筛选检测存在两个方面的问题，一是宝石电极板的固定，宝石电极板面积较小和中间存在孔洞，一般的真空吸附夹具稳定吸附存在问题，同时采用粘接的方式存在污染；二是宝石电极板的清晰定位，宝石电极板采用镀金电极层，从设备内部的正光照射存在强烈的反射，CCD无法清晰分辨电极图形。宝石电极板的清晰定位和可靠固定直接关系到探针的定位精度和重复性，从而影响宝石电极板的测试精度和可靠性，在高密度布线宝石电极板飞针测试时尤为重要。本发明针对这个问题，提出了一种宝石电极板飞针测试用真空吸附夹具。

发明内容

本发明的解决的技术问题是：一是宝石电极板的固定，宝石电极板面积较小和中间存在孔洞，一般的真空吸附夹具稳定吸附存在问题，同时采用粘接的方式存在污染；二是宝石电极板的清晰定位，宝石电极板采用镀金电极层，从设备内部的正光照射存在强烈的反射，CCD无法清晰分辨电极图形。

本发明解决的技术问题所采用的技术方案是：在传统真空吸附夹具的基础上改进结构，将真空吸附小孔的大小和间距设计成适合宝石电极板面积小和中间存在孔洞的特点，同时采用蓝膜覆盖宝石电极板放置后多余的真空吸附小孔，蓝膜厚度远小于宝石电极板的厚度，不存在撞针的问题，从而实现宝石电极板的可靠固定；采用背光方式照射宝石电极板，从而避免正光照射金层的强烈反射，真空吸附夹具采用透明度高的材料进行加工，同时减小上下真空腔板透光部分的厚度，在真空腔体下面放置LED灯，从而实现宝石电极板背光照射，使宝石电极板的图形可以清晰分辨，从而解决宝石电极板飞针测试的精度和可靠性问题。

本发明的真空吸附夹具结构包括上真空腔板1、下真空腔板2和真空排气管3，真空吸附夹具由透明材料的上真空腔板1和下真空腔板2通过定位孔1-1和定位螺纹孔2-1螺接成真空密封腔体，通过夹具固定边1-3将真空吸附夹具夹持在飞针测试设备上，宝石电极板等测试样品放置在上真空腔板1的真空吸附孔阵列1-2区域，裸露的真空吸附孔阵列1-2采用蓝膜覆盖，下真空腔体2内部镂空为中空腔体4，并加工真空排气孔2-2紧配合真空排气管3，真空吸附夹具的抽气通道依次为下真空排气管3、真空排气孔2-2、中空腔体4和真空吸附孔阵列1-2，当测试样品上下表面形成压差，测试样品就牢固地吸附在测试平台上，测试完成后，停止抽气即可取下样品。LED光源入射到下真空腔板2，透射经过中空腔体4和上真空腔板1，对宝石电极板形成背光照射，从而使飞针测试设备对宝石电极板的图形清晰定位。

所述的真空排气管3采用不锈钢材料。

所述的上真空腔板1和下真空腔板2采用FR-4环氧玻璃纤维板、聚碳酸酯板或PMMA有机玻璃板透光材料。

所述的真空排气孔阵列2-2未被测试样品覆盖的区域采用蓝膜或PE保鲜膜材料覆盖。

本发明的有益效果是：该结构的真空吸附夹具可以用于宝石电极板的通断飞针测试。本发明真空吸附夹具吸附测试样品不会造成样品表面污染和表面损伤，同时真空吸附夹具采用透光材料，使测试样品可以背光照射，对宝石电极板上图形可以清晰分辨。该结构的真空吸附夹具可应用于宝石电极板、陶瓷基板和PCB板等各种测试样品的吸附，同时可应用于飞针测试系统的电学测试和三维影像仪等光学设备的尺寸测量的样品固定。

附图说明

图1是本发明的真空吸附夹具整体结构图。

图2是本发明的真空吸附夹具剖面结构图。