[发明专利]一种近红外到中红外宽带增透膜及其制备方法

说明书

本发明公开了一种近红外到中红外宽带增透膜及其制备方法，近红外到中红外宽带增透膜，包括顺序相接的ZnSe基底层、第一YFsubgt;3/subgt;层和第一复合层，或包括顺序相接的第一复合层、第一YFsubgt;3/subgt;层、ZnSe基底层、第二YFsubgt;3/subgt;层和第二复合层；第一复合层和第二复合层均包括相互交替的锌化合物层和MgFsubgt;2/subgt;层，其中，锌化合物层为ZnS层或ZnSe层；第一复合层和第二复合层中的锌化合物层均有2‑5层。本发明近红外到中红外宽带增透膜具有透波段宽、反射率低、透射率、膜层间应力匹配、膜层附着力好、耐温性好、耐摩擦性强、耐水性好等优势，且制备简单、易操作。

技术领域

本发明涉及一种近红外到中红外宽带增透膜及其制备方法，属于增透膜领域。

背景技术

增透膜又称减反射膜，沉积在光学元件表面,以减少表面反射、增加光学系统透过率的光学薄膜，它可以通过减少系统中的散射光来提高对比度。

现有的增透膜存在透波段窄、反射率高、膜层间应力不匹配、膜层附着力差等缺陷。

发明内容

为了解决现有技术中透波段窄、反射率高、膜层间应力不匹配、膜层附着力差等缺陷，本发明提供一种近红外到中红外宽带增透膜及其制备方法。

为解决上述技术问题，本发明所采用的技术方案如下：

一种近红外到中红外宽带增透膜，包括顺序相接的ZnSe基底层、第一YF₃层和第一复合层，或包括顺序相接的第一复合层、第一YF₃层、ZnSe基底层、第二YF₃层和第二复合层；第一复合层和第二复合层均包括相互交替的锌化合物层和MgF₂层，其中，锌化合物层为ZnS层或ZnSe层；第一复合层和第二复合层中的锌化合物层均有2-5层。

上述近红外到中红外宽带增透膜具有透波段宽、反射率低、膜层间应力匹配、膜层附着力好等优势。

为了进一步提高增透效果，近红外到中红外宽带增透膜，包括顺序相接的第一复合层、第一YF₃层、ZnSe基底层、第二YF₃层和第二复合层。也即在ZnSe基底层的双面都复合增透膜。

本申请增透膜的透波段为1-5微米，优选为，透波段为1-3微米。本领域，波段每拓宽0.1微米都是非常难的技术。

为了进一步提高近红外到中红外宽带增透膜的附着力，同时拓宽透波段，锌化合物层为ZnS层。ZnS成本低、性能好。

为了提高近红外到中红外宽带增透膜的增透性能，近红外到中红外宽带增透膜的最外层为MgF₂层。

从ZnSe基底层到YF₃层的方向为从内到外的方向。

为了提高近红外到中红外宽带增透膜的增透性能和附着力，锌化合物层与YF₃层相邻。本申请相邻指所提及两层相接触、相贴合，之间没有其他物质。

为了保证近红外到中红外宽带增透膜增透效果的同时，降低成本，近红外到中红外宽带增透膜包括顺序相接的第一MgF₂层一、第一ZnS层一、第一MgF₂层二、第一ZnS层二、第一MgF₂层三、第一ZnS层三、第一YF₃层、ZnSe基底层、第二YF₃层、第二ZnS层一、第二MgF₂层一、第二ZnS层二、第二MgF₂层二、第二ZnS层三和第二MgF₂层三。