[发明专利]一种可扩展连接多台光刻机的涂胶显影设备系统有效
| 申请号： | 201710573077.1 | 申请日： | 2017-07-14 |
| 公开（公告）号： | CN109254504B | 公开（公告）日： | 2021-11-09 |
| 发明（设计）人： | 洪旭东;宗润福 | 申请（专利权）人： | 沈阳芯源微电子设备股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/30 | 分类号： | G03F7/30;H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司： | 沈阳科苑专利商标代理有限公司 21002 | 代理人： | 汪海 |
| 地址： | 110168 辽*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 扩展 连接 光刻 涂胶 显影 设备 系统 | ||
1.一种可扩展连接多台光刻机的涂胶显影设备系统，其特征在于：包括涂胶显影设备(1)、晶圆传输模块(6)、接口站模块和光刻机，其中各个接口站模块通过晶圆传输模块(6)依次串联，所述光刻机与所述接口站模块一一对应连接，涂胶显影设备(1)与起始端的接口站模块相连，所述接口站模块上设有转移晶圆用的接口站机器人，所述晶圆传输模块(6)内设有晶圆传输机构(61)，所述晶圆传输模块(6)两端分别通过可伸缩的框架长度调节组件(62)与两侧的接口站模块连接；
所述晶圆传输机构(61)包括上下两层安装座，其中下安装座(611)上表面设有下滑块(616)，下安装座(611)内设有下同步带(612)，且所述下滑块(616)通过所述下同步带(612)旋转带动移动，上安装座(619)与所述下滑块(616)固连，在所述上安装座(619)的上表面设有上滑块(615)，在所述上安装座(619)内设有上同步带(617)，且所述上滑块(615)通过所述上同步带(617)旋转带动移动，在所述上滑块(615)上固设有晶圆吸盘(614)；
所述框架长度调节组件(62)包括风叠管(621)和设置于所述风叠管(621)两端的连接法兰；
所述接口站模块上设有热处理单元、接口站机器人和边缘曝光单元，晶圆通过所述接口站机器人带动在热处理单元、边缘曝光单元、光刻机接口和晶圆传输模块(6)之间转移。
2.根据权利要求1所述的可扩展连接多台光刻机的涂胶显影设备系统，其特征在于：在所述下安装座(611)上表面设有下导轨(613)和下滑块(616)，且所述下滑块(616)与下导轨(613)滑动连接。
3.根据权利要求1所述的可扩展连接多台光刻机的涂胶显影设备系统，其特征在于：在所述上安装座(619)的上表面设有上导轨(618)和上滑块(615)，且所述上滑块(615)与所述上导轨(618)滑动连接。
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