[发明专利]一种柔性IC基板氧化面积检测系统及方法

权利要求书

1.一种超薄柔性IC基板氧化面积检测系统，其特征在于，包括：

金相显微成像采集系统，包括摄像机，通过摄像机采集柔性IC基板各部分的高分辨率数字图像；

图像融合系统，用于将拍摄完成后的所有图像拼接成完整的柔性IC基板图像；

氧化面积快速检测系统，用于对所拼接的柔性IC基板高分辨率图像进行RGB-HSI彩色空间转换及拓扑映射处理确定氧化面积区域；

所述拓扑映射处理包括：

步骤(3.1) 对所拼接的柔性IC基板高分辨率图像进行平滑预处理；

步骤(3.2) 对平滑预处理后的IC基板高分辨率RGB彩色空间图像转换为HSI彩色空间图像；

步骤(3.3) 对转换后得到的图像进行点集值拓扑映射，确定前景像素集合和后景像素集合，即可区分被氧化的图像部分；具体包括：

步骤(3.3.1) 坐标规定，规定向右为X轴正方向，向下为Y轴正方向；

步骤(3.3.2) 获取亮度I分量彩色空间图像；

步骤(3.3.3) 点集值与像素值对应，由于数字图像是由一些离散的点组成，所以将图像离散数字化，对应于坐标的位置作为点集合，坐标中点的值为点集值，在图像中称为像素值；将点集值与像素值进行一一对应，统计相同的点集值即像素值；

步骤(3.3.4) 选定三个阈值k、k₁、k₂，其中0kk₁k₂255， k、k₁、k₂三个值的选取通过相似性度量来确定，采用类间方差最大化方法，选取原则是类内距离尽可能的小，类间距离尽可能的大，最终获得最佳全局阈值；

步骤(3.3.5) 划定图像像素值区域，确定阈值k、k₁、k₂后即可对图像灰度级进行划分，三个阈值在0-255之间划分为四个灰度级集合：C₁集合、C₂集合、C₃集合、C₄集合，所述 C₁集合的像素值灰度级为[0,1,2,…,k]，所述C₂集合的像素值灰度级为[k+1,k+2,…,k₁]，所述C₃集合的像素值灰度级为[k₁+1,k₁+2,…,k₂]，所述C₄集合的像素值灰度级为[k₂+1,k₂+2,…,255]；

步骤(3.3.6) 划定前景与后景，在图像中黑色到白色之间按对数关系分成若干级，黑色为0，白色为255，故黑色背景对应于C₁集合，覆铜板为黄色位于黑色到白色的渐变过渡区，所以黄铜对应C₃集合，故将C₁集合和C₃集合作为后景；由于覆铜板被氧化的程度在颜色上会有深浅变化，即随着时间的推移，其氧化程度在加深，颜色也呈一个渐变过程，故将C₂集合和C₄集合作为前景

步骤(3.4) 计算图像中被氧化的面积。