[发明专利]曝光机及遮光叶片

权利要求书

1.一种曝光机，包括：光罩载台(10)、光罩(61)、光罩保护膜(62)、第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)；

所述光罩(61)设于所述光罩载台(10)的下方，所述光罩保护膜(62)遮挡所述光罩(61)远离所述光罩载台(10)的一侧表面，所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)位于所述光罩保护膜(62)远离所述光罩(61)的一侧并与所述光罩保护膜(62)间隔，且所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)沿水平方向相对设置；

其特征在于，所述第一前遮光叶片(21)包括：竖直部(211)、与所述竖直部(211)的底边相连并往远离所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第一水平部(212)以及与所述竖直部(211)的顶边相连并往靠近所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸的第二水平部(213)，所述竖直部(211)上设有开口(214)，所述开口(214)的顶部及侧部均设有遮光片(215)。

2.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述开口(214)的形状为矩形，所述遮光片(215)包括：一沿所述开口(214)的顶边设置的水平的顶遮光片(2151)以及两分别沿所述开口(214)的两侧边设置的竖直的侧遮光片(2152)；所述顶遮光片(2151)和侧遮光片(2152)均往远离所述第一后遮光叶片(22)的一侧延伸。

3.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括：设于所述光罩载台(10)上方的光源(30)、设于所述光源(30)与光罩载台(10)之间的弧形狭缝单元(40)、设于所述弧形狭缝单元(40)与光罩载台(10)之间的校准示波器(60)、设于光罩载台(10)下方的基板载台(50)以及设于所述光罩载台(10)与基板载台(50)之间的放大光路(70)；所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)位于所述光罩载台(10)与放大光路(70)之间。

4.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，还包括：分别与所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)传动连接的两脉冲马达(23)。

5.如权利要求4所述的曝光机，其特征在于，所述脉冲马达(23)与所述第一前遮光叶片(21)及第一后遮光叶片(22)之间通过齿轮齿条传动连接。

6.如权利要求3所述的曝光机，其特征在于，在所述基板载台(50)与放大光路(70)之间还设有两沿水平方向相对设置的第二遮光叶片，两第二遮光叶片能够在其所在的平面内沿第一方向移动，所述第一前遮光叶片(21)与第一后遮光叶片(22)能够在其所在的平面内沿第二方向移动，所述第一方向与第二方向垂直。

7.如权利要求1所述的曝光机，其特征在于，所述光罩保护膜(62)的厚度为6.7mm至7.3mm，所述光罩保护膜(62)靠近所述第一前遮光叶片(21)的一侧表面与所述第一前遮光叶片(21)的顶部之间间隔的距离为2.4mm至3.6mm。

8.一种遮光叶片，其特征在于，所述遮光叶片应用于曝光机中，包括：竖直部(211)、与所述竖直部(211)的底边相连的第一水平部(212)以及与所述竖直部(211)的顶边相连的第二水平部(213)，所述第一水平部(212)和第二水平部(213)的延伸方向相反，所述竖直部(211)上设有开口(214)，所述开口(214)的顶部及侧部均设有遮光片(215)。

9.如权利要求8所述的遮光叶片，其特征在于，所述开口(214)的形状为矩形，所述遮光片(215)包括：一沿所述开口(214)的顶边设置的水平的顶遮光片(2151)以及两分别沿所述开口(214)的两侧边设置的竖直的侧遮光片(2152)；所述顶遮光片(2151)和侧遮光片(2152)延伸方向与所述第一水平部(212)的延伸方向相同。