[发明专利]溅射环件用凸结体滚花方法在审
| 申请号： | 201710590215.7 | 申请日： | 2017-07-19 |
| 公开（公告）号： | CN109277771A | 公开（公告）日： | 2019-01-29 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;相原俊夫;王学泽;罗明浩;冯周瑜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23P9/02 | 分类号： | B23P9/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 吴敏 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 结体 滚花 颗粒物 环件 溅射 剥落现象 表面吸附 喷砂处理 粗糙度 | ||
1.一种溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，包括：
提供凸结体；
对所述凸结体的表面进行滚花。
2.如权利要求1所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述凸结体呈圆柱状。
3.如权利要求2所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，还包括：提供台阶，所述台阶为圆柱状或棱柱状，所述台阶的一底面与所述凸结体的一底面固定连接。
4.如权利要求3所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述固定连接方式采用一体冲压成型。
5.如权利要求3所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述台阶的中心轴线与所述凸结体的中心轴线重合。
6.如权利要求3所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述台阶的底面面积等于或大于所述凸结体的底面面积。
7.如权利要求3所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，还包括：提供车床，所述车床具有卡盘和滚花刀。
8.如权利要求7所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，滚花过程中，所述卡盘夹持所述台阶，并带动所述台阶及所述凸结体旋转；同时，所述滚花刀强力挤压所述凸结体的表面，并沿所述凸结体高度方向移动，从而形成滚花花纹。
9.如权利要求8所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述台阶的高度等于或大于所述凸结体的高度。
10.如权利要求9所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，滚花结束后，切削所述台阶。
11.如权利要求10所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，切削所述台阶至高度为所述凸结体高度的4～6％。
12.如权利要求10所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，采用电火花线切割方法切削所述台阶。
13.如权利要求8所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述滚花刀为双轮滚花刀，所述滚花花纹为凸菱形花纹。
14.如权利要求13所述的溅射环件用凸结体滚花方法，其特征在于，所述凸菱形花纹的TPI值在25以上。
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