[发明专利]一种多源斜插式等离子体气体处理装置

权利要求书

1.一种多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，包括进气通道、减速腔、气体处理区、排气吸收装置和等离子体源，所述的气体处理区的上端依次连有所述的减速腔和所述的进气通道，所述的气体处理区的下端连有所述的排气吸收装置；

所述的气体处理区包括若干个层式连接的气体处理腔，沿每个所述的气体处理腔的周向设置若干排连通其腔体的等离子体源插入口，所述的等离子体源插入口上设有所述的等离子体源，其中，所述的等离子体源的轴线与所述的气体处理腔的中心轴所成的夹角为锐角；

待处理的气体沿所述的进气通道进入所述的减速腔，减速后进入所述的气体处理区，经多级所述的等离子体源处理，进入所述的排气吸收装置吸收处理后，排出至外界；

所述的气体处理腔的形状为圆柱形，并由若干个所述的气体处理腔层式连接组成圆柱形的所述的气体处理区；所述的进气通道的形状为圆柱形，所述的减速腔的上端面和下端面均为圆形，其中，所述的减速腔上端面的直径等于所述的进气通道下端面的直径，所述的减速腔下端面的直径等于所述的气体处理腔上端面的直径。

2.根据权利要求1所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，设置在所述的气体处理腔上的所述的等离子体源插入口，其相连两排之间为交叉排列设置。

3.根据权利要求2所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，每个所述的气体处理腔上设有一排所述的等离子体源插入口。

4.根据权利要求3所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，每一排设有2n+1个所述的等离子体源插入口。

5.根据权利要求1所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，所述的等离子体源的轴线与所述的气体处理腔的中心轴所成的夹角为30°～75°。

6.根据权利要求5所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，在所述的气体处理腔上设有支撑且可调整所述的等离子体源的轴线与所述的气体处理腔的中心轴所成夹角的等离子体源支撑件。

7.根据权利要求1所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，所述的排气吸收装置包括排气腔和吸收池，所述的排气腔的上端与所述的气体处理腔的下端相连，所述的排气腔的下端与所述的吸收池相连，在所述的排气腔的上部分沿其周向设有若干个排气孔，在所述的排气腔的下端沿其周向设有若干个排液口。

8.根据权利要求1所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，所述的减速腔上端面的直径d1与所述的减速腔下端面的直径d2的关系为d2>4d1。

9.根据权利要求1所述的多源斜插式等离子体气体处理装置，其特征在于，所述的等离子体源为炬焰类的等离子体源。