[发明专利]一种医用检测基板、医用检测芯片及医用检测系统有效
申请号: | 201710595582.6 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN109283231B | 公开(公告)日: | 2020-05-01 |
发明(设计)人: | 谢振宇;郝震宇;高悦凯;毛利军;李田生 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司;北京京东方光电科技有限公司 |
主分类号: | G01N27/26 | 分类号: | G01N27/26 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 郭润湘 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 医用 检测 芯片 系统 | ||
1.一种医用检测基板,其特征在于,包括:衬底,以及位于所述衬底上的检测单元;其中,
所述检测单元包括两组测试电极;
两组所述测试电极通过绝缘的堤部间隔开,两组所述测试电极分别设置在所述堤部围成的凹部中,各所述凹部设置于所述衬底内,或者各所述凹部设置于所述衬底与所述检测单元之间的绝缘层内;
其中,所述测试电极包括多个串联的子测试电极,各所述凹部的深度大于各所述子测试电极的厚度。
2.如权利要求1所述的医用检测基板,其特征在于,
各所述子测试电极均设置于所述凹部内。
3.如权利要求2所述的医用检测基板,其特征在于,所述凹部与所述测试电极一一对应;或,所述凹部与所述子测试电极一一对应。
4.如权利要求2所述的医用检测基板,其特征在于,各所述凹部的深度大于各所述子测试电极的厚度。
5.如权利要求4所述的医用检测基板,其特征在于,各所述凹部的深度在10微米至100微米之间;
各所述子测试电极的厚度在100纳米至500纳米之间。
6.如权利要求5所述的医用检测基板,其特征在于,各所述子测试电极的方块电阻在10欧姆/米至200欧姆/米之间。
7.如权利要求6所述的医用检测基板,其特征在于,各所述子测试电极的材质为氧化铟锡或惰性金属。
8.如权利要求1-7任一项所述的医用检测基板,还包括:分别与所述检测单元中的两组所述测试电极电连接的多条数据线;其中,
所述数据线由叠层设置的至少两种金属材料构成,用于传输所述检测单元输出的检测信号。
9.一种医用检测芯片,其特征在于,包括:如权利要求1-8任一项所述的医用检测基板。
10.一种医用检测系统,其特征在于,包括:如权利要求9所述的医用检测芯片,以及用于处理所述医用检测芯片中的检测单元输出的检测信号的信号处理单元。
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