[发明专利]一种芯片清洗容器有效
申请号: | 201710597839.1 | 申请日: | 2017-07-20 |
公开(公告)号: | CN107393852B | 公开(公告)日: | 2019-08-02 |
发明(设计)人: | 刘桐庆;单肖楠;张星;张建伟;叶淑娟;郑乐;刘思琪;朱洪波;高隽 | 申请(专利权)人: | 吉林省长光瑞思激光技术有限公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 罗满 |
地址: | 130117 吉林省长春市净月开发区生*** | 国省代码: | 吉林;22 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 芯片 清洗 容器 | ||
1.一种芯片清洗容器,其特征在于,包括容纳腔(1),所述容纳腔(1)上开设有用于允许芯片夹持器伸入的孔缝,且所述容纳腔(1)的侧壁上开设有若干条从其孔缝延伸至底部、用于允许所述芯片夹持器通过的孔缝(2);
所述容纳腔(1)内设置有用于盛装芯片的底板(3),且所述底板(3)上与各条所述孔缝(2)接触的位置处设置有取片凹槽(4),且所述取片凹槽(4)与所述孔缝(2)连通;
所述底板(3)的表面上设置有若干条互相交叉且一端与所述取片凹槽(4)连通的第一滑道(5),以及将各条所述第一滑道(5)互相连接的环道(6);所述第一滑道(5)和环道(6)均用于与所述芯片夹持器配合滑动。
2.根据权利要求1所述的芯片清洗容器,其特征在于,所述底板(3)的表面上还设置有若干条第二滑道(7),且各条所述第二滑道(7)上架设有若干个用于使芯片保持竖立的安装滑块(8)。
3.根据权利要求2所述的芯片清洗容器,其特征在于,所述安装滑块(8)具体包括用于与各条所述第二滑道(7)配合的滑动部(801),以及设置于所述滑动部(801)上、用于夹持芯片两侧表面的多个间隔条(802)。
4.根据权利要求3所述的芯片清洗容器,其特征在于,所述底板(3)的表面上设置有若干个均匀分布的限位孔(9),还包括与各所述限位孔(9)配合安装、用于限制各芯片在所述容纳腔(1)中的运动空间的若干个限位柱(10)。
5.根据权利要求4所述的芯片清洗容器,其特征在于,各所述限位柱(10)均包括用于插入到所述限位孔(9)中的接插部(101),设置于所述接插部(101)顶端并用于压紧在所述底板(3)表面上、以在各芯片水平移动预设距离后与其边缘抵接的水平限制部(102),设置于所述压紧部(102)顶端、用于在各芯片垂向移动预设距离后与其表面抵接的垂向限制部(103);以及设置于所述垂向限制部(103)顶端、用于便于所述芯片夹持器夹取的压紧块(104)。
6.根据权利要求5所述的芯片清洗容器,其特征在于,所述容纳腔(1)的侧壁和/或所述底板(3)上开设有若干个排水孔(11),且各所述排水孔(11)均呈圆形。
7.根据权利要求6所述的芯片清洗容器,其特征在于,还包括用于将多个所述容纳腔(1)轴向串接、用于人手抓持的连接杆(12),且位于底层的所述容纳腔(1)的底板(3)上设置有用于安装所述连接杆(12)的安装筒(13);其余层的所述容纳腔(1)的底板(3)上开设有用于与所述连接杆(12)配合的安装孔。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造