[发明专利]调节光学装置的方法

权利要求书

1.一种调节光学装置(200)的方法，所述光学装置(200)包括可移动部件(326，700)、参考部件(318，346，702)以及光学部件(202，706)，其中所述可移动部件(326，700)由机械操作连接件(328，704)连接到所述光学部件(202，706)，所述方法包括以下步骤：

a)将所述可移动部件(326，700)关于所述参考部件(318，346，702)固定在机械限定的位置(NP)(S1)，

b)光学测量所述光学部件(202，706)，以获取光学测量结果(OM)(S2)，以及

c)根据所述光学测量结果(OM)调节所述光学装置(200)(S8)。

2.根据权利要求1所述的方法，其中所述光学装置用于光刻设备(100A、100B)。

3.根据权利要求1所述的方法，其中为步骤a)中的所述固定提供工具(500，701)，所述工具关于所述参考部件(318，346，702)机械固定所述光学部件(202，706)。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中步骤b)包括检测所述光学部件(202，706)的实际束偏移(IA)，其中将所述检测的实际束偏移(IA)与设定点束偏移(SA)比较，并且根据比较结果执行调节所述光学装置(200)。

5.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中步骤c)中的所述调节包括更改所述光学装置(200)的至少一个部件(202，308，326，328，346，700，704，706，707)的几何形状、取向和/或位置、刚度、电场和/或磁场(708)。

6.根据权利要求5所述的方法，其中通过机械处理来更改所述几何形状。

7.根据权利要求5所述的方法，其中所述至少一个部件为所述可移动部件(326，700)、所述光学部件(202，706)、磁放大环(346)、致动所述可移动部件(326，700)的致动器(308，707)、恢复所述可移动部件(326，700)的恢复弹簧(332、334)和/或由所述机械操作连接件(328，704)所包括的部件。

8.根据权利要求5所述的方法，其中，为改变所述可移动部件(326，700)的取向和/或位置的目的，间隔体元件(350)插设在所述可移动部件与所述机械操作连接件(704)的驱动柱塞(328)之间。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述间隔体元件(350)的几何形状适配为使得所述可移动部件(326，700)的取向和/或位置改变。

10.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述可移动部件(700)为磁体元件(326)。

11.根据权利要求10所述的方法，其中所述磁体元件(326)借助于电磁致动器(308)可移动。

12.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述参考部件(702)为载体板(318)，所述可移动部件(326，700)安装在所述载体板上，和/或其中所述参考部件(702)为用于电磁致动器(308)的场(708)的放大的磁放大环(346)。

13.根据权利要求12所述的方法，其中所述电磁致动器(308)由致动器板(302)保持。

14.根据权利要求13所述的方法，其中所述致动器板(302)借助于接口(314、316、320、322)相对于所述载体板(318)定位。

15.根据权利要求1至3中任一项所述的方法，其中所述光学部件(706)为光反射部件。