[发明专利]一种双极管有效
申请号: | 201710604859.7 | 申请日: | 2017-07-24 |
公开(公告)号: | CN109300984B | 公开(公告)日: | 2021-03-30 |
发明(设计)人: | 李思敏 | 申请(专利权)人: | 李思敏 |
主分类号: | H01L29/732 | 分类号: | H01L29/732;H01L29/10 |
代理公司: | 北京北新智诚知识产权代理有限公司 11100 | 代理人: | 张晶;郭佩兰 |
地址: | 100011 北京市朝*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双极管 | ||
本发明涉及一种双极管,在下层为N型低电阻率层、上层为N型高电阻率层的硅衬底片的上表面有多个由N型发射区、P型基区、P型浓基区组成的条带,每个条带中的N型发射区的上面与发射极金属层连通,其特征是:所述基极金属层与浓基区汇流条的上表面相连接,所述发射极压焊块为2个或2个以上,所述条带的重复间距小于300μm。本发明的双极管电流分布均匀,开关速度快,抗冲击能力强,功率高,成本低廉。
技术领域
本发明属于硅半导体器件技术领域,涉及一种双极管。
背景技术
双极管是一种电流驱动型晶体管,有几十年的历史。1979年Hisao Kondo提出了联栅晶体管GAT(Gate Associated Transistor),随后进行了详细的分析(见IEEETrans.Electron Device,vol.ED-27,PP.373-379.1980)。1994年,陈福元、金文新、吴忠龙对联栅晶体管GAT作了进一步的分析(见《电力电子技术》1994年第4期1994.11.pp52-55),指出了联栅晶体管器件呈现出高耐压、快速开关和低饱和压降等优良特性。
联栅晶体管是双极管和静电感应晶体管的复合晶体管,是一种特殊的双极管。联栅晶体管也称为静电屏蔽晶体管。其栅区也称为厚基区或浓基区。
作为开关工作的联栅晶体管同常规的1300系列双极管的结构都是集电极金属层在下面,发射极金属层和基极金属层在上面,发射极金属层直接与发射区连接,基极金属层直接与基区连接,见图8(《电力电子技术》1994年第4期1994.11.pp52图1),E代表发射极,图8显示,发射极金属层与N+型发射区连接。B代表基极,图8显示,基极金属层与P+型浓基区和P型基区连接。
开关工作的联栅晶体管和1300系列双极管一般都采用指叉形结构,发射极金属层与基极金属层平列排放。由于需要承受一定的电流,发射极金属层和基极金属层都有一定的宽度要求。又由于光刻腐蚀的限制,他们之间的距离也有一定的要求。因此,发射极金属层与基极金属层之间的重复间距就不可能太小。一般地,开关工作的联栅晶体管和1300系列双极管的单元重复间距都在120微米以上。这么大的单元重复间距造成两个不好的后果。一个是开关速度慢,因为单元重复间距大,充电和放电都受阻。另一个是电流不均匀,有严重的电流集边效应。
发明内容
鉴于上述,本发明的目的是针对现有技术的不足,提供一种双极管,它能够提供更均匀的电流分布,具有更快的开关速度,更强的抗冲击能力,能够做更大的功率,产品的成本更低廉。
为完成本发明的目的,本发明采用的技术方案是:
一种双极型管,在下层为N型低电阻率层、上层为N型高电阻率层的硅衬底片的上表面有多个由N型发射区、P型基区、P型浓基区组成的条带,每个条带中的N型发射区的上面与发射极金属层连通,N型发射区的下面有P型基区,P型基区的侧面连着掺杂浓度比基区高的P型浓基区,P型浓基区与P型浓基区汇流条正交,硅衬底片的上方有基极金属层,硅衬底片的上层N型高电阻率层位于P型基区和P型浓基区以下的部分为集电区,硅衬底片的N型低电阻率层为集电极,集电极的下表面与集电极金属层相连,其特征在于:所述基极金属层与P型浓基区汇流条的上表面相连接;所述发射极金属层压焊块有2个或2个以上;所述条带的重复间距小于300μm。
优选地:
所述基极金属层压焊块有2个或2个以上。
所述P型浓基区是平面型的。
所述P型浓基区是槽型的。
所述N型发射区的上面与发射极金属层直接连接。
所述N型发射区的上面与发射极金属层间接连接,二者之间夹一掺杂多晶硅层。
所述P型浓基区的上面与N型发射区相连接。
所述P型浓基区的结深比P型基区的结深深。
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