[发明专利]阵列基板检测设备和阵列基板检测方法

说明书

技术领域

本发明涉及显示检测技术领域，具体涉及一种阵列基板检测设备和阵列基板检测方法。

背景技术

随着显示技术的不断发展，消费者对于显示器产品的良品率要求也越来越高。阵列基板作为显示器的核心器件，阵列基板上用于起到显示作用的像素区域是否存在缺陷是衡量显示器产品良品率的重要因素。

图1所示为现有技术提供的一种阵列基板检测方式的原理示意图。光源所发出的光束在经过分光镜11反射后，直接通过物镜12照射在液晶调制器13上。液晶调制器13包括液晶材料和设置于液晶材料一侧的反射面。在阵列基板14通电后，会在阵列基板14与液晶调制器13之间形成电场。液晶调制器13中的液晶材料根据电场强度的大小而发生不同的偏转，液晶材料偏转方向的不同从而使得反射面反射回去的反射光也就不同。再通过图像采集装置15采集该反射回去的反射光以得到图像信息，基于该图像信息来判断阵列基板14的像素区域361’是否存在缺陷。如果阵列基板14的像素区域361’存在缺陷，缺陷位置处的图像信息就会存在显示异常，例如呈现出点缺陷或线缺陷等。

然而，阵列基板14除了包括像素区域361’外，还包括其他的电路结构区域362’。当采用图1所示的方式进行检测时，由于进入液晶调制器13的光束的光照范围是大于阵列基板14的像素区域361’的，因此阵列基板14上其他的电路结构区域362’也会被额外采集到图像信息中，如图2所示。这些额外采集的图像会对根据图像信息进行缺陷判断的过程产生干扰，降低了检测过程的准确度。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种阵列基板检测设备和阵列基板检测方法，解决了现有阵列基板检测方式的检测准确度不高的问题。

本发明一实施例提供的一种阵列基板检测设备包括：光发射装置、光束导向装置、透镜组、液晶调制器和图像采集装置；

其中，所述光发射装置构造为向所述光束导向装置发射光束；所述液晶调制器包括液晶材料和设置于所述液晶材料一侧的反射面；所述光束导向装置构造为将所述光发射装置所发射的光束导向至所述液晶调制器，并将所述液晶调制器中的所述反射面反射回来的光束导向至所述图像采集装置；

其中，所述透镜组设置在所述光束导向装置与所述液晶调制器之间的光学路径上，构造为将所述光束导向装置导向至所述液晶调制器的光束的光照范围聚集在与待检测的阵列基板的像素区域等效的区域范围，以及扩散所述液晶调制器中的所述反射面反射回来的光束。

其中，所述透镜组包括：至少两个透镜以及伸缩驱动机构；

其中，所述至少两个透镜的光轴相互重合，所述伸缩驱动机构构造为分别驱动所述至少两个透镜沿着所述光轴移动。

其中，所述伸缩驱动机构包括外筒、至少两个内筒以及至少两个驱动电机；

其中，所述至少两个内筒以螺纹配合的方式套接于所述外筒内部，所述至少两个透镜分别设置于所述至少两个内筒中；

其中，所述至少两个驱动电机分别驱动所述至少两个内筒旋转，以使得所述至少两个透镜沿着所述光轴移动。

其中，所述光束导向装置为第一分光镜。

其中，所述阵列基板检测设备进一步包括：设置在所述光发射装置和所述光束导向装置之间的光学路径上的第二分光镜。

其中，所述阵列基板检测设备进一步包括：

图像分析装置，构造为通过分析所述图像采集装置所采集到的图像信息来获取阵列基板上的缺陷信息。

其中，所述图像采集装置为电荷耦合器件摄像机。

其中，所述阵列基板检测设备进一步包括：阵列基板承载装置，设置在所述液晶调制器下方，用于承载待检测的阵列基板。

本发明一实施例提供的一种阵列基板检测方法包括：

将待检测的阵列基板置于所述阵列基板检测设备的所述液晶调制器下方；

对所述阵列基板进行通电，通过所述透镜组将所述光束导向装置导向至所述液晶调制器的光束的光照范围聚集在与所述阵列基板的像素区域等效的区域范围；以及

根据所述图像采集装置所采集到的图像信息获取所述阵列基板上的缺陷信息。

其中，所述阵列基板检测设备的透镜组包括：至少两个透镜以及伸缩驱动机构；其中，所述至少两个透镜的光轴相互重合，所述伸缩驱动机构构造为分别驱动所述至少两个透镜沿着所述光轴移动；

其中，所述通过所述透镜组将所述光束导向装置导向至所述液晶调制器的光束的光照范围聚集在与所述阵列基板的像素区域等效的区域范围内包括：