[发明专利]一种低成本铌管靶的制造方法

权利要求书

1.一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于：通过将铌管靶非溅射区域用低成本的钛替代高成本铌，达到降低成本的目的；具体是通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，将铌管坯内、外壁车削干净，然后在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒；冷却之后，对铌钛复合棒开中心孔，然后加热并挤压成需要的尺寸规格；校直处理后，通过机加工铌钛复合管的内外表面，得到需要尺寸的铌管靶。

2.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的铌管靶非溅射区域，是指铌管靶从内壁开始往外，厚度为总厚度的2/5，此部分区域主要用来通冷却循环水，是铌管靶溅射之后剩余的部分，不参与磁控溅射。

3.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的通过真空电子束熔炼并浇铸成型的铌管坯，是通过真空电子束熔炼并浇铸得到的尺寸为内径φ50～150mm，外径φ100～300mm的坯料，要求铌的纯度大于99.95％。

4.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的铌管坯内、外壁车削干净，是需要将铌管坯的气孔、夹杂、凹坑等缺陷去除干净，内壁的粗糙度优于Ra6.4，直线度小于0.2mm。

5.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的在真空状态下通过电渣炉将熔融的纯钛液浇铸并充满铌管坯的内孔，形成铌钛复合棒，是通过电渣炉熔炼的方法将纯度为99.5％以上的纯钛熔液浇铸到铌管坯内部，冒口处进行补缩。

6.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的对铌钛复合棒开中心孔，是通过机加工镗孔的方式，在正中心钛材的位置镗出内径为45～60mm的内孔。

7.根据权利要求1所述的一种低成本铌管靶的制造方法，其特征在于，所述的加热并挤压成需要的尺寸规格，其加热温度为850～1400℃，保温0.5～3小时，挤压比为2～8；挤压速率为20～200mm每分钟，确保内壁的钛层厚度为3～6mm。