[发明专利]一种湿制程机台的腔室

权利要求书

1.一种湿制程机台的腔室，所述腔室设置有向其提供第一溶液的第一管道，其特征在于，所述腔室包括：

清洁装置，与所述第一管道连通，以使得所述第一管道可以向所述清洁装置提供用于清洁所述腔室的第二溶液，所述清洁装置包括清洁管道，所述清洁管道设置在所述腔室内，所述清洁管道上设置有多个喷淋件，当所述清洁装置对所述腔室进行清洁时，所述清洁装置通过所述多个喷淋件可以对所述腔室进行无死角的清洁；

所述清洁管道包括第一清洁管道和第二清洁管道；所述第一清洁管道设置于所述腔室的上端，所述第二清洁管道设置于所述腔室的下端，所述第一清洁管道与所述第二清洁管道一一对应设置；

所述清洁装置还包括第一承载轴和第二承载轴；所述第一承载轴用于承载两条平行设置的所述第一清洁管道，其中，所述第一承载轴为中空结构，所述第一清洁管道通过所述第一承载轴与所述第一管道连通；所述第二承载轴用于承载两条平行设置的所述第二清洁管道，其中，所述第二承载轴为中空结构，所述第二清洁管道通过所述第二承载轴与药液循环管道连通；

所述清洁装置还包括连接管道，所述连接管道的两端分别与所述第一承载轴和所述第二承载轴连通，使得所述第一清洁管道与所述第二清洁管道通过所述第一承载轴、所述连接管道以及所述第二承载轴连通；所述连接管道还与所述药液循环管道连通，以使得所述药液循环管道中的药液可流入至所述第一承载轴以及所述第二承载轴，进而流入至所述第一清洁管道以及所述第二清洁管道，并由所述喷淋件喷洒出来。

2.根据权利要求1所述的腔室，其特征在于，所述喷淋件为喷淋头，所述多个喷淋头在所述清洁管道上呈螺旋环绕式分布。

3.根据权利要求1所述的腔室，其特征在于，所述清洁装置还包括：

驱动机构，所述驱动机构设置在所述腔室外，与所述清洁管道连接，用于驱动所述清洁管道绕所述清洁管道的轴线旋转，进而使所述清洁装置通过所述多个喷淋件可以对所述腔室进行无死角的清洁。

4.根据权利要求3所述的腔室，其特征在于，所述驱动机构包括依次连接的旋转马达、齿轮以及传动组件，其中，所述传动组件与所述清洁管道连接。

5.根据权利要求1所述的腔室，其特征在于，所述第一管道为补水管道。

6.根据权利要求5所述的腔室，其特征在于，所述补水管道上设置有第一阀门，所述药液循环管道上设置有第二阀门，所述第一阀门与所述第二阀门可以交替间隔开关。

7.根据权利要求1所述的腔室，其特征在于，所述清洁管道为耐高温、耐强酸强碱的材料制成；所述用于清洁所述腔室的第二溶液包括去离子水、中性洗净剂溶液、四甲基氢氧化铵TMAH溶液中的至少一种。