[发明专利]一种湿制程机台的腔室

说明书

本发明公开了一种湿制程机台的腔室，腔室设置有向其提供第一溶液的第一管道，腔室包括：清洁装置，与第一管道连通，以使得第一管道可以向清洁装置提供用于清洁腔室的第二溶液，清洁装置包括清洁管道，清洁管道设置在腔室内，清洁管道上设置有多个喷淋件，当清洁装置对腔室进行清洁时，清洁装置通过多个喷淋件可以对腔室进行无死角的清洁。通过上述方式，本发明能够对腔室进行无死角的清洁，有效降低机台对产品的不良影响以及减少待加工产品上的残留颗粒，从而有效提高产品的良率以及刻蚀效果。

技术领域

本发明涉及湿制程技术领域，特别是涉及一种湿制程机台的腔室。

背景技术

随着湿制程机台加工产品数量的增加，机台储存药液的腔室内壁沉积物也随之增加，当沉积物累积到一定程度时，对待加工产品就会产生一定的影响，从而影响待加工产品的良率。因此，需要对湿制程机台储存药液的腔室进行定期清洁，以清除腔室内的沉积物。

目前，由于湿制程机台下方空间狭小，湿制程机台储存药液的腔室无专用清洗喷淋管道，只能在机台保养时进行手动清洁。

本申请的发明人在长期的研发过程中，发现即使通过人工清洁，也不能彻底地清洁，同时，湿制程机台在不工作时，定时冲刷时的冲刷力不够，无法对腔室内进行有效的清洁，易造成腔室内壁上沉积物愈渐增多，从而导致待加工产品上的污染颗粒数量增多，降低产品良率以及蚀刻效果。

发明内容

本发明主要解决的技术问题是提供一种湿制程机台的腔室，能够有效地对腔室进行无死角的清洁，有效降低机台对产品的不良影响以及减少待加工产品上的残留颗粒，从而有效提高产品的良率以及刻蚀效果。

为解决上述技术问题，本发明采用的一个技术方案是：提供一种湿制程机台的腔室，所述腔室设置有向其提供第一溶液的第一管道，所述腔室包括：

清洁装置，与所述第一管道连通，以使得所述第一管道可以向所述清洁装置提供用于清洁所述腔室的第二溶液，所述清洁装置包括清洁管道，所述清洁管道设置在所述腔室内，所述清洁管道上设置有多个喷淋件，当所述清洁装置对所述腔室进行清洁时，所述清洁装置通过所述多个喷淋件可以对所述腔室进行无死角的清洁。

本发明的有益效果是：区别于现有技术，本发明提供一种湿制程机台的腔室，所述腔室设置有向其提供第一溶液的第一管道，所述腔室包括：清洁装置，与所述第一管道连通，以使得所述第一管道可以向所述清洁装置提供用于清洁所述腔室的第二溶液，所述清洁装置包括清洁管道，所述清洁管道设置在所述腔室内，所述清洁管道上设置有多个喷淋件，当所述清洁装置对所述腔室进行清洁时，所述清洁装置通过所述多个喷淋件可以对所述腔室进行无死角的清洁。通过在腔室内设置清洁装置，可以有效地对腔室进行无死角的清洁，有效降低机台对产品的不良影响以及减少待加工产品上的残留颗粒，从而有效提高产品的良率以及刻蚀效果；另外，通过清洁装置与第一管道连通，第一管道在向腔室提供第一溶液的基础上，还可向清洁装置提供第二溶液，使得清洁装置可以对腔室进行无死角的清洁的同时，无需额外增设补充第二溶液的管道，有效简化腔室的内部结构。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。其中：

图1是现有湿制程机台的腔室一实施方式的侧视示意图；

图2是本发明湿制程机台的腔室一实施方式的侧视示意图；

图3是图2所示的湿制程机台的腔室的俯视示意图；

图4是图2所示的湿制程机台的腔室中清洁管道一实施方式的结构示意图。

具体实施方式