[发明专利]增幅型I-line光阻组合物

权利要求书

1.一种增幅型I-line光阻组合物，包括：

一聚羟基苯乙烯衍生物树脂，包括如下式(II-1)及(II-2)的重复单元：

其中，R_h为经取代或未经取代的C_1-20烷基、或经取代或未经取代的C_3-30环烷基，或R_h与O、和O相邻的C原子及甲基一同形成一五元或六元的杂环基；

一光酸引发剂；以及

一小分子促进剂，选自由如下式(1-a)、(1-b)、(1-e)及(1-f)所组成的群组：

2.如权利要求1所述的增幅型I-line光阻组合物，其中该聚羟基苯乙烯衍生物树脂的重量平均分子量介于3000至25000之间。

3.如权利要求1所述的增幅型I-line光阻组合物，其中式(II-1)重复单元与式(II-2)的重复单元在该聚羟基苯乙烯衍生物树脂中的摩尔比介于1:1至1:4之间。

4.如权利要求1所述的增幅型I-line光阻组合物，其中R_h为未经取代的C_1-3烷基、经C_1-3烷氧基取代的C_1-3烷基、或未经取代的C_5-7环烷基，或R_h与O、和O相邻的C原子及甲基一同形成一五元或六元的杂环基。

5.如权利要求1所述的增幅型I-line光阻组合物，其中式(II-1)为下式(II-1a)、(II-1b)、(II-1c)、(II-1d)或(II-1e)：

6.如权利要求1所述的增幅型I-line光阻组合物，其中该光酸引发剂如下式(III)所示：

其中R_x为C_1-20烷基。

7.如权利要求1所述的增幅型I-line光阻组合物，包括：

大于或等于10重量份且小于或等于30重量份的该聚羟基苯乙烯衍生物树脂；

大于0重量份且小于或等于10重量份的该小分子促进剂；以及

大于或等于0.5重量份且小于或等于3重量份的该光酸引发剂。