[发明专利]酸化缓蚀剂及其制备方法在审

专利信息
申请号: 201710618030.2 申请日: 2017-07-26
公开(公告)号: CN107236533A 公开(公告)日: 2017-10-10
发明(设计)人: 徐文忠 申请(专利权)人: 徐文忠;上海贵通新材料科技有限公司
主分类号: C09K8/74 分类号: C09K8/74
代理公司: 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司11471 代理人: 刘静荣
地址: 200052 上海市长*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 酸化 缓蚀剂 及其 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种酸化缓蚀剂,其特征在于,所述酸化缓蚀剂主要包括由乙醛、丙酮与吗啉反应制成的曼尼希碱。

2.根据权利要求1所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,乙醛、丙酮与吗啉反应的物质的量的比例为1~2:2~4:1~2。

3.根据权利要求2所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,乙醛、丙酮与吗啉反应的物质的量的比例为1:2:1。

4.根据权利要求1所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,所述酸化缓蚀剂中还包括复配剂,所述复配剂与曼尼希碱的重量比为1:1~2。

5.根据权利要求4所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,所述复配剂为丙炔醇。

6.一种酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:取乙醛、丙酮、吗啉,乙醛、丙酮、吗啉的物质的量的比为1~2:2~4:1~2,调节pH至2~3,加热,反应10小时,得到曼尼希碱。

7.根据权利要求6所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,使用盐酸调节pH至2~3。

8.根据权利要求7所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,控制加热的温度为85~90℃。

9.根据权利要求6~8任一项所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,反应结束后,反应液冷却至室温后,加入复配剂,复配剂与曼尼希碱的重量比为1:1~2。

10.根据权利要求9所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,采用的复配剂为质量分数为10~15%的丙炔醇。

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