[发明专利]酸化缓蚀剂及其制备方法在审
申请号: | 201710618030.2 | 申请日: | 2017-07-26 |
公开(公告)号: | CN107236533A | 公开(公告)日: | 2017-10-10 |
发明(设计)人: | 徐文忠 | 申请(专利权)人: | 徐文忠;上海贵通新材料科技有限公司 |
主分类号: | C09K8/74 | 分类号: | C09K8/74 |
代理公司: | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司11471 | 代理人: | 刘静荣 |
地址: | 200052 上海市长*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 酸化 缓蚀剂 及其 制备 方法 | ||
1.一种酸化缓蚀剂,其特征在于,所述酸化缓蚀剂主要包括由乙醛、丙酮与吗啉反应制成的曼尼希碱。
2.根据权利要求1所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,乙醛、丙酮与吗啉反应的物质的量的比例为1~2:2~4:1~2。
3.根据权利要求2所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,乙醛、丙酮与吗啉反应的物质的量的比例为1:2:1。
4.根据权利要求1所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,所述酸化缓蚀剂中还包括复配剂,所述复配剂与曼尼希碱的重量比为1:1~2。
5.根据权利要求4所述的酸化缓蚀剂,其特征在于,所述复配剂为丙炔醇。
6.一种酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,包括以下步骤:取乙醛、丙酮、吗啉,乙醛、丙酮、吗啉的物质的量的比为1~2:2~4:1~2,调节pH至2~3,加热,反应10小时,得到曼尼希碱。
7.根据权利要求6所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,使用盐酸调节pH至2~3。
8.根据权利要求7所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,控制加热的温度为85~90℃。
9.根据权利要求6~8任一项所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,反应结束后,反应液冷却至室温后,加入复配剂,复配剂与曼尼希碱的重量比为1:1~2。
10.根据权利要求9所述的酸化缓蚀剂的制备方法,其特征在于,采用的复配剂为质量分数为10~15%的丙炔醇。
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