[发明专利]厚度测量装置

权利要求书

1.一种厚度测量装置，其对板状物的厚度进行测量，其中，

该厚度测量装置至少包含：

宽带光源，其发出对于板状物具有透过性的波段的光；

分光器，其对该宽带光源所发出的光在波段内进行分光；

分配构件，其按照时间经过对由该分光器分光而得的各波长的光变更分配方向；

聚光透镜，其对由该分配构件分配的各波长的光进行会聚；

光传递构件，其与该聚光透镜对置，对由该聚光透镜会聚的各波长的光进行传递，该光传递构件的多个光纤的一方的端面成列地配设；

测量端子，其使构成该光传递构件的多个光纤的另一方的端面与该板状物对置，该测量端子具有多个物镜，该多个物镜成列并且与各端面对应地配设在各端面与该板状物之间；

光分支构件，其配设在该光传递构件的光的传递路径上，从各光纤分支出由在该板状物的上表面上发生了反射的光和透过板状物而在下表面上发生了反射的光相干涉并在各光纤中逆行而得的返回光；

光强度检测构件，其根据由该分配构件向各光纤分配由该光分支构件分支而得的与各光纤对应的该返回光的波长的时间，对各波长的光强度进行检测；以及

控制构件，其根据基于该光强度检测构件检测的光强度而与各光纤对应地生成分光干涉波形，对与各光纤对应的分光干涉波形进行波形解析而对与各光纤对应的板状物的厚度进行计算。

2.根据权利要求1所述的厚度测量装置，其中，

该厚度测量装置具有对该板状物进行保持的保持构件，

该测量端子和该保持构件构成为能够在X轴方向上相对移动，

构成该测量端子的与各光纤的端面对应而配设的物镜的列被定位在垂直于X轴方向的Y轴方向上，

该厚度测量装置具有存储构件，该存储构件在由该测量端子与该保持构件在X轴方向上的相对移动和定位于Y轴方向的物镜所确定的X坐标、Y坐标中，对该控制构件所计算的板状物的厚度进行存储。