[发明专利]一种硅片批量中转装置

权利要求书

1.一种硅片批量中转装置，其特征在于，包括：

花篮切换机构(1)；以及硅片顶升机构(2)，

其中，花篮切换机构(1)包括传送组件(11)以及设于该传送组件(11)上的两组硅片花篮，两组所述硅片花篮在传送组件(11)的驱动下交替地作往复直线运动。

2.如权利要求1所述的硅片批量中转装置，其特征在于，花篮切换机构(1)的左右两端分别设有左初始工位、右初始工位、以及设于所述左初始工位与右初始工位之间的中转工位，硅片顶升机构(2)设于所述中转工位处并使得花篮切换机构(1)从其内部穿过。

3.如权利要求2所述的硅片批量中转装置，其特征在于，硅片顶升机构(2)包括：

设于传送组件(11)旁侧的至少一组顶升组件；以及

设于所述顶升组件正上方的硅片置中组件(23)，

其中，所述顶升组件包括驱动部、支座、设于该支座上的竖直导轨、以及与该竖直导轨配接的顶升架，所述顶升架在所述驱动部的驱动下沿所述竖直导轨在竖直平面内升降。

4.如权利要求3所述的硅片批量中转装置，其特征在于，两组所述硅片花篮在水平面内交替地作往复直线运动，当所述顶升架位于最低处时，所述顶升组件位于所述硅片花篮的运动平面之下。

5.如权利要求3所述的硅片批量中转装置，其特征在于，硅片置中组件(23)包括：

支架(231)；以及

设于支架(231)中的至少一组置中部，

其中，所述置中部包括由前驱动气缸(232)驱动的前置中片(2321)、以及由后驱动气缸(233)驱动的后置中片(2331)，前置中片(2321)及后置中片(2331)相互平行且间隔一定的距离以形成位于两者之间的置中通道。

6.如权利要求5所述的硅片批量中转装置，其特征在于，前置中片(2321)及后置中片(2331)与所述硅片花篮的运动方向相平行。

7.如权利要求5所述的硅片批量中转装置，其特征在于，所述硅片花篮在所述置中部与顶升架之间往复穿梭。

8.如权利要求5所述的硅片批量中转装置，其特征在于，前置中片(2321)及后置中片(2331)的内侧均设有若干个用于夹持硅片的硅片夹持槽。

9.如权利要求1所述的硅片批量中转装置，其特征在于，传送组件(11)包括：

两根并列设置的主传送导轨(111)；以及

设于主传送导轨(111)旁侧的辅传送导轨(112)，

其中，主传送导轨(111)与辅传送导轨(112)平行且间隔设置，两根主传送导轨(111)部分重叠且重叠部分相固接。

10.如权利要求9所述的硅片批量中转装置，其特征在于，主传送导轨(111)及辅传送导轨(112)上分别设有用于承托所述硅片花篮的主滑块(1112)及辅滑块(1121)，主传送导轨(111)上设有用于驱动主滑块(1112)往复滑移的驱动器(1111)。