[发明专利]麦克风及其制造方法

权利要求书

1.一种麦克风，包括：

基底，其具有声孔；

振动膜，其形成在所述基底上；

电磁感应层，其与所述声孔对应而形成在所述振动膜的下表面上，其中所述电磁感应层具有预定图案；

第一电极，其形成在振动膜的上表面上；

第一固定层，其设置成与振动膜间隔开；

第二固定层，其设置成与振动膜间隔开；

第二电极，其形成在所述第一固定层的下表面处，其中，所述第二电极包括多个通孔；

第一线圈，其插置在第一固定层和第二固定层之间，其中，所述第一线圈形成为从第一线圈的中心向外延伸的螺旋形状；

第二线圈，其结合到第二固定层的上表面，其中，所述第二线圈形成为从第二线圈的中心向外延伸的螺旋形状。

2.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述电磁感应层的预定图案包括：

圆形图案，其中，具有不同直径的多个圆形带设置在圆形图案中；

直线图案，其中，直线图案连接圆形图案并穿过圆形图案的中心。

3.根据权利要求1所述的麦克风，其中，第一固定层和第二固定层包括：

第一电极孔，其中，形成在所述第一电极的一侧的第一电极垫暴露于所述第一电极孔中；

第二电极孔，其中，形成在所述第二电极的另一侧的第二电极垫暴露于所述第二电极孔中。

4.根据权利要求3所述的麦克风，其中，所述第一电极孔包括：

第二支撑层，其沿着振动膜的上边缘形成，以及第一固定层和第二固定层。

5.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述第一固定层和第二固定层包括：

多个空气通道，其设置在与形成在第二电极中的多个通孔对应的位置处。

6.根据权利要求1所述的麦克风，其中，所述第二固定层包括：

线圈槽，其中，暴露出形成在第一线圈的一端处的第一线圈垫。

7.根据权利要求1所述的麦克风，其中：

所述第一线圈的中心连接到所述第二线圈的中心。

8.根据权利要求1所述的麦克风，其中：

所述振动膜通过第一支撑层而结合到基底，其中，所述第一支撑层沿着所述基底的上边缘形成。

9.一种麦克风的制造方法，包括：

形成设置在基底上的振动膜，其中，所述振动膜包括形成在所述振动膜的下表面上的电磁感应层和形成在所述振动膜的上表面上的第一电极；

形成设置成与所述振动膜间隔开的固定层，其中，所述固定层包括形成在所述固定层的下表面的第二电极，形成在所述固定层的中心的第一线圈和形成在所述固定层的上表面的第二线圈。

10.根据权利要求9所述的麦克风的制造方法，其中，形成所述振动膜包括：

在基底上形成第一支撑层，然后以预定图案将第一支撑层图案化；

利用电磁感应材料沿预定图案形成电磁感应层；

在第一支撑层和电磁感应层上形成振动膜；

在振动膜上形成第一电极。

11.根据权利要求10所述的麦克风的制造方法，其中，所述预定图案包括：

圆形图案，其中，具有不同直径的多个圆形带以预定间隔设置；

直线图案，其中，直线图案连接圆形带并穿过圆形图案的中心。

12.根据权利要求9所述的麦克风的制造方法，其中，形成所述固定层包括：

在振动膜上形成第二支撑层；

形成第二电极，其中，所述第二电极包括形成在第二支撑层的上部上的多个通孔；

在第二电极上形成第一固定层；

在第一固定层上形成第一线圈；

在第一固定层上形成第二固定层以覆盖所述第一线圈；

蚀刻第二固定层，其中，在第二固定层的中心部分形成中心槽；

在第二固定层上形成第二线圈。