[发明专利]麦克风及其制造方法

说明书

本申请涉及一种麦克风及其制造方法。本申请提供了一种麦克风，包括：基底，其具有声孔；振动膜，其形成在所述基底上；电磁感应层，其具有预定图案，且对应于所述声孔而形成于所述振动膜的下表面上；第一电极，其形成在振动膜的上表面上；第一固定层和第二固定层，其与振动膜间隔开；第二电极，其形成在所述第一固定层的下表面处，并具有多个通孔；第一线圈，其插置在第一固定层和第二固定层之间，其中，第一线圈形成为从第一线圈的中心向外延伸的螺旋形状；以及第二线圈，其结合到第二固定层的上表面，其中，第二线圈形成为从第二线圈的中心向外延伸的螺旋形状。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年11月8日提交的韩国专利申请第10-2016-0148370号的优先权和权益，其全部内容通过引用合并于本文中。

技术领域

本申请涉及一种麦克风(microphone)及其制造方法。

背景技术

本节中的陈述仅提供涉及本申请的背景信息，并且可能不构成现有技术。

近来，将语音转换为电信号的麦克风已经小型化，并且正在基于微机电系统(MEMS)技术开发小型化的麦克风。

这种MEMS麦克风比常规驻极体电容式麦克风(ECM)具有更强的耐湿性和耐热性，并且可以小型化并与信号处理电路集成。

MEMS麦克风可以分为压电式MEMS麦克风和电容式MEMS麦克风。

压电式MEMS麦克风仅包括振动膜，当振动膜通过外部声压而变形时，由于压电效应而产生电信号。由此基于电信号来测量声压。

电容式MEMS麦克风包括固定膜和振动膜，而当外部声压施加到振动膜时，其电容值由于固定膜和振动膜之间的间隔改变而改变。

此时，电容式MEMS麦克风通过所产生的电信号来测量声压。

发明内容

本申请提供了一种麦克风，包括：基底，其具有声孔；振动膜，其形成在所述基底上；电磁感应层，其对应于所述声孔而形成在所述振动膜的下表面上，其中所述电磁感应层具有预定图案；第一电极，其形成在振动膜的上表面上；第一固定层和第二固定层，其设置成与振动膜间隔开；第二电极，其形成在所述第一固定层的下表面处，所述第二电极设置有多个通孔；第一线圈，其插置在第一固定层和第二固定层之间，并且第一线圈形成为从第一线圈的中心向外延伸的螺旋形状；以及第二线圈，其结合到第二固定层的上表面，并且第二线圈形成为从第二线圈的中心向外延伸的螺旋形状。

所述电磁感应层的预定图案可以包括：圆形图案，其中设置具有不同直径的多个圆形带；以及直线图案，其连接圆形图案并穿过圆形图案的中心。

第一电极孔可以形成在所述第一固定层和所述第二固定层的一侧，从而暴露出形成在所述第一电极的前端的第一电极垫；而第二电极孔可以形成在所述第一固定层和所述第二固定层的另一侧，从而暴露出形成在所述第二电极的前端的第二电极垫。

第一电极孔可以包括第二支撑层以及第一固定层和第二固定层，所述第二支撑层沿着振动膜的上边缘形成。

多个空气通道可以对应于在第二电极中形成的多个通孔而形成在第一固定层和第二固定层处。

所述第二固定层可以包括线圈槽，从而暴露出形成在第一线圈的一端处的第一线圈垫。

第一线圈的中心与第二线圈的中心可以彼此连接。

振动膜可以通过第一支撑层而结合到基底，其中所述第一支撑层沿着所述基底的上边缘形成。

根据本申请的一些形式，可以通过结合在包括第一电极和第二电极的电容部分处产生的电容变化而导致的电信号，以及在包括电磁感应层、第一线圈和第二线圈的电磁感应部分处产生的感应电流而导致的电信号，从而提高灵敏度。