[发明专利]具有真空腔体的质谱检漏设备

权利要求书

1.一种具有真空腔体的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置，所述支撑架用于支撑所述真空腔体，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；

所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座对应所述上盖体设置，用于承载所述支撑板组件，所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上，所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持，使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接，所述支撑板组件用于承载所述待测箱体；

所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；

所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测所述待测箱体泄漏到真空腔体的示踪气体的含量。

2.根据权利要求1所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑座还包括支撑横梁、支撑立板及支撑挂板，所述支撑挂板一侧挂设于所述支撑架上，所述支撑立板固定于所述支撑挂板另一侧，用于支撑所述支撑横梁，所述支撑横梁架设于所述支撑立板上，用于承载所述支撑板组件。

3.根据权利要求2所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑板组件包括板体、支撑板导向柱，所述支撑板导向柱设置有位置相对的第一端和第二端，所述支撑板导向柱的第一端固定于所述板体底部，所述支撑横梁两端分别设置有导向孔，所述导向孔贯穿所述支撑横梁位置相对的两侧面，所述支撑板导向柱贯穿所述导向孔并与所述支撑横梁活动连接，以使所述板体能够沿所述导向孔的导向运动。

4.根据权利要求3所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑板组件包括挡片，所述挡片固定于所述支撑板导向柱的第二端，用于限制所述支撑板导向柱在预设范围内活动。

5.根据权利要求3所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述板体的面向所述上盖体的表面设置有若干弹性垫条，所述弹性垫条用于承载所述待测箱体。

6.根据权利要求5所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述板体的面向所述上盖体的表面四周设置有密封胶条，用于所述下盖体与所述上盖体接合面的密封。

7.根据权利要求2所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述支撑架设置有沿着所述支撑架的纵向延伸的第一导轨，所述支撑挂板面向所述第一导轨的一侧设置有导向槽，第一导轨插设在所述导向槽内，以使所述下盖体能够在外力作用下沿着所述第一导轨上下运动。

8.根据权利要求1所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述上盖体外侧壁设有若干上盖体固定件，所述上盖体固定件用于将所述上盖体固定于所述支撑架上。

9.根据权利要求8所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述上盖体包括第一上盖体及第二上盖体，所述第二上盖体盖设于第一上盖体上，所述第一上盖体用于容纳待测箱体的主体，所述第二上盖体用于容纳待测箱体的突出部分。

10.根据权利要求9所述的具有真空腔体的质谱检漏设备，其特征在于，所述上盖体设置有管道孔，所述管道孔与所述质谱检漏设备导通连接。