[发明专利]具有真空腔体的质谱检漏设备

说明书

本发明公开一种具有真空腔体的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座对应所述上盖体设置，用于承载所述支撑板组件，所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上，所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持，使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接，所述支撑板组件用于承载所述待测箱体；本发明具有真空腔体气密性优良、开合步骤简单快捷及检漏效率高等特点。

技术领域

本发明涉及箱体密封性检测技术领域，尤其涉及一种具有真空腔体的质谱检漏设备。

背景技术

质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用,其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测,且其检漏分辨率高、测量范围广,特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备因其气密性的要求，造成其真空腔体开合步骤繁琐，且不便于待测箱体的放入与取出。现有技术的真空腔体难以同时满足气密性和开合的快捷性要求，造成现有技术的质谱检漏设备无法适应流水线作业要求，制约了生产效率的提高，显然不适宜现代化工业的发展。

发明内容

本发明正是基于以上一个或多个问题，提供一种具有真空腔体的质谱检漏设备，用以解决现有技术中的真空腔体气密性差、开合步骤繁琐及检漏效率低的问题。

本发明提供一种具有真空腔体的质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，其包括支撑架、真空腔体、示踪气体源及质谱检漏装置，所述支撑架用于支撑所述真空腔体，所述真空腔体包括上盖体及下盖体，所述上盖体盖设在所述下盖体上，所述上盖体与所述下盖体之间形成有容纳腔；

所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，所述支撑座对应所述上盖体设置，用于承载所述支撑板组件，所述弹性支撑件一端固定于所述支撑座上，所述弹性支撑件另一端与所述支撑板组件弹性抵持，使得所述支撑板组件与所述支撑座弹性连接，所述支撑板组件用于承载所述待测箱体；所述示踪气体源用于为所述待测箱体提供示踪气体；所述质谱检漏装置与所述真空腔体导通连接，用于检测所述待测箱体泄漏到真空腔体的示踪气体的含量。

综上所述，本发明具有真空腔体的质谱检漏设备通过所述上盖体与所述下盖体的结合与分离，实现所述待测箱体的放入与取出；所述下盖体包括支撑座、弹性支撑件及支撑板组件，通过所述支撑板组件与所述支撑座的弹性连接，使得所述上盖体与所述下盖体结合时，所述上盖体与所述下盖体的接合面保持平行，避免因安装等各种误差造成的接合面不平行导致真空腔体气密性差的问题，并通过所述密封胶条的设置，有效填充接合面的微小缝隙，从而获得真空腔体优良的气密性，因而不仅气密性优、开合步骤简单且检漏效率高。

附图说明

图1是本发明的具有真空腔体的质谱检漏设备的结构示意图；

图2是本发明的支撑架、真空腔体及升降机构相互配合时的结构示意图；

图3是本发明真空腔体的结构示意图；

图4是本发明真空腔体的正视图；

图5是本发明下盖体的侧视图

图6是图2所示A区域的放大图；

图7是图2所示B区域的放大图；

图8是本发明的连接头的结构示意图；

图9是本发明的部分连接结构示意图；

图10是本发明的部分连接结构示意图；

图11是本发明第二实施例的流程图；

图12是本发明第三实施例的流程图；

图13是本发明第四实施例的流程图。