[发明专利]透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备

权利要求书

1.一种透光薄膜厚度测量方法，其特征在于，基于薄膜厚度检测装置实现，所述薄膜厚度检测装置包括光源、扩散板和相机，所述方法包括：

调节所述相机的拍摄参数，使所述拍摄参数符合预设拍摄参数要求；

所述扩散板上未放置薄膜时，通过所述相机获取所述光源发出的入射光线的入射图像；

所述扩散板上放置薄膜时，通过所述相机获取透过所述薄膜的出射光线的出射图像；

对所述入射图像和所述出射图像进行处理，得到所述入射图像中每个像素点的入射灰度值和所述出射图像中每个像素点的出射灰度值；

根据所述入射灰度值、所述出射灰度值、预设消光系数和预设修正函数，计算所述薄膜的厚度值；

对所述出射图像进行二维缺陷分析，识别所述薄膜上的二维缺陷；

所述调节所述相机的拍摄参数，使所述拍摄参数符合预设拍摄参数要求，包括：

调节所述相机的镜头孔径，使所述镜头孔径小于或等于预设孔径阈值；

调节所述相机的积分时间，使所述积分时间在预设积分时间范围内；

调节所述相机的增益，使所述增益等于最小增益值；

调节所述相机的拍摄模式，使所述拍摄模式处于合并模式；

调节所述相机的背光亮度，使所述背光亮度在预设背光亮度范围内；

调节所述相机的焦距，使所述焦距大于或等于预设焦距阈值。

2.如权利要求1所述的透光薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述根据所述入射灰度值、所述出射灰度值、预设消光系数和预设修正函数，计算所述薄膜的厚度值，包括：

根据公式：

计算所述厚度值；

其中，t为厚度值，a为预设消光系数，μ_{graylevel_efflux}为入射图像中像素点x的入射灰度值，μ_{graylevel_influx}为出射图像中像素点x的出射灰度值，C_correction(μ_{graylevel_efflux}，μ_{graylevel_influx})为预设修正函数。

3.如权利要求1或2所述的透光薄膜厚度测量方法，其特征在于，所述根据所述入射灰度值、所述出射灰度值、预设消光系数和预设修正函数，计算所述薄膜的厚度值之前，还包括在无照明环境下执行的以下步骤：

所述扩散板上放置标准光密度标定板时，获取透过所述标准光密度标定板的出射光线的标准出射图像；

检测所述标准出射图像上的多个预设区域是否存在不同程度的渐晕现象；

若是，则对所述标准出射图像上的预设区域范围进行均值化处理，得到所述预设区域范围内所有像素点的灰度平均值，作为所述标准出射图像中每个像素点的标准出射灰度值；

重复上述步骤，得到多块不同的标准光密度标定板对应的标准出射灰度值；

所述扩散板上未放置薄膜时，获取所述光源发出的入射光线的多幅入射图像；

对所述多幅入射图像进行均值化处理，得到所述多幅入射图像中位置相同的每个像素点的灰度平均值，作为所述多幅入射图像中位置相同的每个像素点的平均入射灰度值；

根据所述平均入射灰度值和所述多块不同的标准光密度标定板的标准出射灰度值，分别计算所述多块不同的标准光密度标定板的光密度测量值；

根据所述多块不同的标准光密度标定板的光密度测量值和标准光密度值，计算得到所述预设修正函数。