[发明专利]透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备

说明书

本发明适用于薄膜技术领域，提供了一种透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备，基于薄膜厚度检测装置实现，所述薄膜厚度检测装置包括光源、扩散板和相机。本发明实施例通过提供一种由光源、扩散板和相机构成的薄膜厚度检测装置，用于进行透光薄膜厚度测量，可以有效简化装置结构、提高检测速度、满足较宽的测量范围要求并有效降低成本；通过调节相机的拍摄参数可以有效降低由于相机硬件结构造成的检测误差，通过采用光密度计量法结合预设修正函数来计算薄膜的厚度值，可以有效提高检测结果的准确性。

技术领域

本发明属于薄膜技术领域，尤其涉及一种透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备。

背景技术

随着薄膜技术的不断发展，薄膜在电子行业、民生行业、新能源行业等诸多领域得到广泛应用。薄膜的厚度是衡量薄膜性能的一项重要指标。现有的检测薄膜厚度的方法有干涉法、光密度计量法等。

然而，现有的薄膜厚度检测方法中，干涉法需要依赖复杂的硬件扫描结构实现，而光密度法准确性较低、测量范围有限且成本较高。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了透光薄膜厚度测量方法、系统及终端设备，以解决现有技术中的薄膜厚度检测方法不能在准确快速的检测薄膜厚度的同时，简化装置结构、提高测量范围并降低成本的问题。

本发明实施例的第一方面提供了一种薄膜厚度检测方法，基于薄膜厚度检测装置实现，所述薄膜厚度检测装置包括光源、扩散板和相机，所述方法包括：

调节所述相机的拍摄参数，使所述拍摄参数符合预设拍摄参数要求；

所述扩散板上未放置薄膜时，获取所述光源发出的入射光线的入射图像；

所述扩散板上放置薄膜时，获取透过所述薄膜的出射光线的出射图像；

对所述入射图像和所述出射图像进行处理，得到所述入射图像中每个像素点的入射灰度值和所述出射图像中每个像素点的出射灰度值；

根据所述入射灰度值、所述出射灰度值、预设消光系数和预设修正函数，计算所述薄膜的厚度值。

本发明实施例的第二方面提供了一种透光薄膜厚度测量系统，基于薄膜厚度检测装置实现，所述薄膜厚度检测装置包括光源、扩散板和相机，所述系统包括

拍摄参数调节模块，用于调节所述相机的拍摄参数，使所述拍摄参数符合预设拍摄参数要求；

第一入射图像获取模块，用于所述扩散板上未放置薄膜时，获取所述光源发出的入射光线的入射图像；

第一出射图像获取模块，用于所述扩散板上放置薄膜时，获取透过所述薄膜的出射光线的出射图像；

第一图像处理模块，用于对所述入射图像和所述出射图像进行处理，得到所述入射图像中每个像素点的入射灰度值和所述出射图像中每个像素点的出射灰度值；

第一计算模块，用于根据所述入射灰度值、所述出射灰度值、预设消光系数和预设修正函数，计算所述薄膜的厚度值。

本发明实施例的第三方面提供了一种终端设备，包括存储器、处理器以及存储在所述存储器中并可在所述处理器上运行的计算机程序，其特征在于，所述处理器执行所述计算机程序时实现上述方法的步骤。

本发明实施例的第四方面提供了一种计算机可读存储介质，所述计算机可读存储介质存储有计算机程序，所述计算机程序被处理器执行时实现上述方法的步骤。

本发明实施例与现有技术相比存在的有益效果是：