[发明专利]质谱检漏方法

权利要求书

1.一种质谱检漏方法，用于检测待测箱体的气密性，其特征在于，包括如下步骤：

S10、对密闭的真空腔体进行空箱检漏；

S101、对检漏后获取的泄漏率进行校正；

S11、将待测箱体置于真空腔体的容纳腔内；

S12、控制前级泵对真空腔体的容纳腔进行抽气；

S13、控制所述前级泵带动腔体真空泵对所述容纳腔同时进行抽气；

S14、控制示踪气体源对所述待测箱体充入示踪气体，检测容纳腔内的所述示踪气体含量，依据所述示踪气体含量判断所述待测箱体是否符合预设条件。

2.如权利要求1所述的质谱检漏方法，其特征在于，在所述步骤S13后还包括步骤S131：打开与所述待测箱体及所述真空腔体导通连接的箱体腔体切换阀，以使所述待测箱体和所述真空腔体导通。

3.如权利要求2所述的质谱检漏方法，其特征在于，在所述步骤S131之后还包括S132：关闭所述箱体腔体切换阀，再通过箱体抽气真空泵对所述待测箱体进行抽气。

4.如权利要求3所述的质谱检漏方法，其特征在于，在所述步骤S132后还包括步骤S133：将标定瓶内的示踪气体排放至所述容纳腔内，根据所述标定瓶排放至所述容纳腔内的示踪气体含量对所述泄漏率进行校正。

5.如权利要求4所述的质谱检漏方法，其特征在于，所述步骤S133具体包括：若测试时间到达预设时间，则将标定瓶内的示踪气体排放至所述容纳腔内，根据所述标定瓶排放至所述容纳腔内的示踪气体含量对所述泄漏率进行校正。

6.如权利要求3所述的质谱检漏方法，其特征在于，在所述步骤S132前还包括步骤S1311：当所述真空腔体抽气结束后，将用于检测所述待测箱体的第一压力传感器的第一感测值除以第一预设值，生成第一比例系数，然后使用所述第一比例系数校准所述第一压力传感器；将用于检测所述真空腔体的压力的第二传感器的第二感测值除以第二预设值，生成第二比例系数，然后使用所述第二比例系数校准所述第二压力传感器。

7.如权利要求1所述的质谱检漏方法，其特征在于，所述步骤S14具体包括：示踪气体源对所述待测箱体充入示踪气体，检测所述待测箱体外部的示踪气体含量，若所述待测箱体外部的示踪气体含量大于预设值，则指示线上升幅度大于预设幅度。

8.如权利要求1所述的质谱检漏方法，其特征在于，在所述步骤S101之后还包括S102：识别所述待测箱体是否为待检箱体。

9.如权利要求8所述的质谱检漏方法，其特征在于，在所述步骤S11之后还包括S111：控制光栅传感器检测是否有异物进入预设检测区域。

10.如权利要求1所述的质谱检漏方法，其特征在于，所述步骤S14具体包括：

S141、示踪气体源通过第一充气支路向所述待测箱体输送第一输出量的示踪气体；

S142、检测所述待测箱体外部的示踪气体含量，若所述待测箱体外部的示踪气体含量大于预设值，则输出所述待测箱体不合格的提示信息，否则进入步骤S143；

S143、所述示踪气体源通过第二充气支路再向所述待测箱体输送第二输出量的示踪气体，其中，所述第一输出量小于所述第二输出量；

S144、检测所述待测箱体外部的示踪气体含量，若所述待测箱体外部的示踪气体含量大于预设值，则输出所述待测箱体不合格的提示信息。