[发明专利]质谱检漏方法

说明书

本发明公开了一种质谱检漏方法，包括如下步骤：S10、对密闭的真空腔体进行空箱检漏；S101、对检漏后获取的泄漏率进行校正；S11、将待测箱体置于真空腔体的容纳腔内；S12、控制前级泵对真空腔体的容纳腔进行抽气；S13、控制所述前级泵带动腔体真空泵对所述容纳腔同时进行抽气；S14、控制示踪气体源对所述待测箱体充入示踪气体，质谱检漏装置检测容纳腔内的所述示踪气体含量，依据所述示踪气体含量判断所述待测箱体是否符合预设条件。本发明具有检测效率快、准确率高的优点。

技术领域

本发明涉及箱体密封性检测技术领域，尤其涉及一种质谱检漏方法。

背景技术

箱体在现代工业中有广泛的应用，各种材质的箱体被应用在各个行业当中，其中，汽车用水箱或者油箱数量巨大。随着汽车保有量不断增加，汽车油箱的泄漏逐渐成为一个重要的影响到公共安全的问题，为了减少或者杜绝泄漏，在箱体生产加工出来后，必须对箱体进行严格的气密性检测。现有技术的质谱检漏技术为在大气压强下用示踪气体内部加压，并用质谱仪检测密封箱体外部是否有示踪气体泄漏。然而这种方法检测周期长，干扰因素过多，不能精准检测密封箱体的漏率。

发明内容

本发明正是基于以上一个或多个问题，提供一种质谱检漏方法，用以解决现有技术中检测周期长，干扰因素过多，不能精准检测密封箱体的漏率问题。

本发明提供一种质谱检漏方法，用于检测待测箱体的气密性，其包括如下步骤：

S10、对密闭的真空腔体进行空箱检漏；

S101、对检漏后获取的泄漏率进行校正；

S11、将待测箱体置于真空腔体的容纳腔内；

S12、控制前级泵对真空腔体的容纳腔进行抽气；

S13、控制所述前级泵带动腔体真空泵对所述容纳腔同时进行抽气；

S14、控制示踪气体源对所述待测箱体充入示踪气体，检测容纳腔内的所述示踪气体含量，依据所述示踪气体含量判断所述待测箱体是否符合预设条件。

综上所述，本发明的质谱检漏方法中，首先对真空腔体进行空箱检漏，以在第一时间检测出真空腔体内部结构或管路是否泄漏；然后质谱检漏装置对泄漏率进行校正，最后通过腔体真空泵与前级泵配合抽气，从而使本发明具有抽气速度快、极限真空度较高的特点，在抽完真空腔体泵内的气体后，再通过示踪气体源对待测箱体充入示踪气体，然后进行检测，因而具有检测效率快、准确率高的优点。

附图说明

图1是本发明的具有升降机构的质谱检漏设备的结构示意图；

图2是本发明的支撑架、真空腔体及升降机构相互配合时的结构示意图；

图3是本发明上盖体的结构示意图；

图4是本发明下盖体的结构示意图；

图5是图2所示A区域的放大图；

图6是图2所示B区域的放大图；

图7是本发明的连接头的结构示意图；

图8是本发明的连接头的剖面图；

图9是本发明的连接头的爆炸图；

图10是本发明的部分结构与待测箱体配合时的连接结构示意图；

图11是本发明的部分结构与待测箱体配合时的连接结构示意图；

图12是本发明第二实施例的流程图；

图13是本发明第三实施例的流程图；

图14是本发明第四实施例的流程图。

具体实施方式