[发明专利]一种平面式蒸发源以及蒸镀装置

权利要求书

1.一种平面式蒸发源，其特征在于，包括基座、加热模块以及均热平坦层，其中：

所述加热模块固定设置在所述基座上；

所述均热平坦层设置在所述加热模块上，且所述均热平坦层背离所述加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，所述均热平坦层用于在所述加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于所述有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽。

2.根据权利要求1所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热模块包括至少一个加热单元，所述加热单元采用基于正方形分形的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。

3.根据权利要求2所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热模块与所述均热平坦层相接触的表面为正方形平面，每一个所述加热单元采用至少三阶的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。

4.根据权利要求3所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热单元采用四阶或五阶或六阶的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。

5.根据权利要求2所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热模块与所述均热平坦层相接触的表面为非正方形平面，所述加热模块由至少两个采用希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成的加热单元组合而成。

6.根据权利要求5所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述用于形成所述希尔伯特-皮亚诺曲线的中心点所在的小正方向形的边长为所述加热单元整体正方形平面边长的1/960～1/120。

7.根据权利要求1所述的平面式蒸发源，其特征在于，所述加热模块的采用基于长方形分形的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。

8.根据权利要求1所述的平面式蒸发源，其特征在于，还包括冷却单元和热反射单元，所述热反射单元设置在所述加热模块背离所述均热平坦层的一侧，所述冷却单元设置在所述热反射单元和所述基座之间。

9.一种蒸镀装置，包括有机材料薄膜，其特征在于，还包括如权利要求1-8所述的所述平面式蒸发源，所述有机材料薄膜设置在所述有机材料薄膜承载面上，所述有机材料薄膜承载面与待蒸镀的玻璃基板相平行。