[发明专利]一种平面式蒸发源以及蒸镀装置

说明书

本发明涉及显示技术领域，公开一种平面式蒸发源以及蒸镀装置，平面式蒸发源包括基座、加热模块以及均热平坦层，加热模块固定设置在基座上；均热平坦层设置在加热模块上，且均热平坦层背离加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，均热平坦层用于在加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽，热量在传导至均热平坦层后进行均热，使得整个平面的温度具有较好的均一性，保证平面式蒸发源能均匀的将上方的有机薄膜垂直蒸发出去，而由于有机材料薄膜承载面与待蒸镀的玻璃基板相平行，保证了在玻璃基板上形成的蒸镀薄膜厚度均一，可以减小蒸镀的阴影距离，有利于提高分辨率。

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种平面式蒸发源以及蒸镀装置。

背景技术

随着显示技术的进步，电子显示产品的屏幕越来越向着高分辨率发展，尤其是VR(虚拟现实)设备、AR(增强现实)设备，对高PPI(每英寸的像素数目)显示屏幕的需求尤为强烈，而OLED(有机发光二极管)显示技术以其自发光、广视角、几乎无穷高的对比度、较低耗电、极高反应速度等优点，被认为是下一代的显示技术，故具有高PPI的OLED显示装置具有较好的市场前景。

目前，对于OLED显示装置，有机发光材料通过真空蒸镀的方法在玻璃基板上成膜，对于全彩色的OLED显示器件(RGB OLED)，发光层材料的蒸镀需要使用到FMM(Fine MetalMask高精度金属掩模板)，如图1所示，现有蒸镀工艺中，蒸发源03通过加热等手段使有机材料蒸发，形成有机材料蒸汽04，经过设有特定镂空图案的掩膜板02的遮蔽，在玻璃基板01上形成有机薄膜05。由于有机材料经过加热后从蒸发源03的喷嘴中蒸发出来，使得形成的有机材料蒸汽04是有一定的角度的；再加上掩膜板02的工艺所限，其镂空位置并不能够完全紧贴玻璃基板01，这就导致在玻璃基板01上形成的薄膜05是稍微大于掩膜板02的镂空开口的，并且是边缘较薄的；与掩膜板开口相比多出的这部分称为阴影距离(shadowdistance)。阴影距离严重影响了蒸镀薄膜的分辨率，导致发光子像素的大小受到一定限制；另外，阴影距离可能就会导致混色，漏光等现象，严重影响产品品质，不利于生产更高PPI的显示产品。因此，设计一种能够减小蒸镀的阴影距离的蒸镀装置显得尤为重要。

发明内容

本发明提供一种平面式蒸发源以及蒸镀装置，该平面式蒸发源能够减小蒸镀的阴影距离，进而有利于提高分辨率。

为达到上述目的，本发明提供以下技术方案：

一种平面式蒸发源，包括基座、加热模块以及均热平坦层，其中：

所述加热模块固定设置在所述基座上；

所述均热平坦层设置在所述加热模块上，且所述均热平坦层背离所述加热模块的一面形成用于承载有机材料薄膜的有机材料薄膜承载面，所述均热平坦层用于在所述加热模块加热时使有机材料薄膜受热均匀以形成蒸发方向垂直于所述有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽。

在上述平面式蒸发源中，当将承载有有机材料薄膜的平面式蒸发源放入蒸镀装置的蒸镀腔中时，均热平坦层上的有机材料薄膜承载面朝向待蒸镀的玻璃基板、且与待蒸镀的玻璃基板以及位于玻璃基板上的掩膜版相平行，此时，位于基座上的加热模块开始加热，热量在传导至均热平坦层后进行均热，提高了热量的均匀性，使得整个平面的温度具有较好的均一性，进而使得位于均热平坦层上的有机材料薄膜承载面的有机材料薄膜受热均匀，保证平面式蒸发源能均匀的将上方的有机薄膜垂直蒸发出去，进而形成蒸发方向垂直于有机材料薄膜承载面的有机材料蒸汽，而由于有机材料薄膜承载面与待蒸镀的玻璃基板相平行，使得有机材料蒸汽与待蒸镀的玻璃基板相垂直，保证了在玻璃基板上形成的蒸镀薄膜厚度均一，可以减小蒸镀的阴影距离，有利于提高分辨率，提高玻璃基板蒸镀作业时的良率，进而提高有机发光器件的产品质量。

优选地，所述加热模块包括至少一个加热单元，所述加热单元采用基于正方形分形的希尔伯特-皮亚诺曲线形状制成。