[发明专利]一种N型双面太阳能电池片及其制作方法在审
申请号: | 201710651236.5 | 申请日: | 2017-08-02 |
公开(公告)号: | CN107394008A | 公开(公告)日: | 2017-11-24 |
发明(设计)人: | 徐冠群;包健;金浩;张昕宇;廖晖;李宏伟;陈周;王金艺 | 申请(专利权)人: | 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L31/0288;H01L31/068 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司11227 | 代理人: | 王宝筠 |
地址: | 314416 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 双面 太阳能电池 及其 制作方法 | ||
技术领域
本发明涉及太阳能电池片技术领域,更为具体的说,涉及一种N型双面太阳能电池片及其制作方法。
背景技术
常规的化石燃料日益消耗殆尽,在现有的可持续能源中,太阳能无疑是一种清洁、普遍和潜力高的替代能源。太阳能电池,也称光伏电池,是一种将太阳的光能直接转化为电能的半导体器件。由于它是绿色环保产品,不会引起环境污染,而且太阳能是可再生资源,所以在当今能源短缺的情形下,太阳能电池是一种有广阔发展前途的新型能源,并受到了广泛的关注。
在太阳能电池所使用的基底材料中,N型硅比P型硅具有更长的少子寿命,N型硅的光衰减性能则更为稳定,因此,在N型硅片上进行电池制作形成的N型太阳能电池片的相比P型太阳能电池片优势较大。但是,现有的N型太阳能电池的成本较高,并且N型太阳能电池片的光电转换效率有待提高。
发明内容
有鉴于此,本发明提供了一种N型双面太阳能电池片及其制作方法,采用N型多晶硅片制作太阳能电池片,能够大大降低太阳能电池片的制作成本;以及,将太阳能电池片制作N型双面太阳能电池片,使得太阳能电池片的双面均能够发电,进而有效的提高太阳能电池片的光电转换效率。
为实现上述目的,本发明提供的技术方案如下:
一种N型双面太阳能电池片的制作方法,包括:
提供一N型多晶硅片;
在所述N型多晶硅片的正面扩散一P型扩散层;
在所述P型扩散层背离所述N型多晶硅片一侧形成正面钝化层、及在所述N型多晶硅片的背面形成背面钝化层;
在所述正面钝化层背离所述N型多晶硅片一侧形成正面栅线电极、及在所述背面钝化层背离所述N型多晶硅片一侧形成背面栅线电极。
可选的,在所述N型多晶硅片的正面扩散一P型扩散层包括:
采用热扩散工艺在所述N型多晶硅片的正面扩散一所述P型扩散层、及同时在所述N型多晶硅片的背面扩散一辅助P型扩散层;
刻蚀去除所述辅助P型扩散层。
可选的,采用刻蚀溶液刻蚀去除所述辅助P型扩散层;
其中,所述刻蚀溶液为氢氧化钾溶液,所述氢氧化钾溶液的浓度范围为1%~10%,包括端点值;或者,
所述刻蚀溶液为氢氟酸、硝酸和水的混合溶液,所述氢氟酸:硝酸:水的浓度比例范围为1:3:1~1:3:2,包括端点值。
可选的,在形成所述P型扩散层后,且在形成所述正面钝化层和所述背面钝化层之前,还包括:
在N型多晶硅片的背面扩散一N+扩散层,其中,所述背面钝化层位于所述N+扩散层背离所述N型多晶硅片一侧。
可选的,所述正面钝化层包括:
位于所述P型扩散层背离所述N型多晶硅片一侧的第一氮化硅层;
及,位于所述第一氮化硅层和所述P型扩散层之间的氧化铝层或二氧化硅层。
可选的,所述氧化铝层的厚度范围为3nm~15nm,包括端点值;
及,所述二氧化硅层的厚度范围为0.5nm~2nm,包括端点值;
其中,位于所述第一氮化硅层和所述P型扩散层之间为所述氧化铝层时,所述第一氮化硅层的厚度范围为63nm~75nm,包括端点值;
及,位于所述第一氮化硅层和所述P型扩散层之间为所述二氧化硅层时,所述第一氮化硅层的厚度范围为75nm~78nm,包括端点值。
可选的,所述背面钝化层为第二氮化硅层。
可选的,所述第二氮化硅层的厚度范围为70nm~120nm,包括端点值。
可选的,所述正面栅线电极采用银铝浆制作而成;
及,所述背面栅线电极采用银浆制作而成。
相应的,本发明还提供了一种N型双面太阳能电池片,所述N型双面太阳能电池片采用上述的N型双面太阳能电池片的制作方法制作而成。
相较于现有技术,本发明提供的技术方案至少具有以下优点:
本发明提供了一种N型双面太阳能电池片及其制作方法,包括:提供一N型多晶硅片;在所述N型多晶硅片的正面扩散一P型扩散层;在所述P型扩散层背离所述N型多晶硅片一侧形成正面钝化层、及在所述N型多晶硅片的背面形成背面钝化层;在所述正面钝化层背离所述N型多晶硅片一侧形成正面栅线电极、及在所述背面钝化层背离所述N型多晶硅片一侧形成背面栅线电极。由上述内容可知,本发明提供的技术方案,采用N型多晶硅片制作太阳能电池片,能够大大降低太阳能电池片的制作成本;以及,将太阳能电池片制作N型双面太阳能电池片,使得太阳能电池片的双面均能够发电,进而有效的提高太阳能电池片的光电转换效率。
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