[发明专利]直驱电机取晶装置有效
申请号: | 201710654300.5 | 申请日: | 2017-08-03 |
公开(公告)号: | CN107403749B | 公开(公告)日: | 2023-04-25 |
发明(设计)人: | 贺云波;王波;吴晓明 | 申请(专利权)人: | 宁波知了智能科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/683 | 分类号: | H01L21/683 |
代理公司: | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人: | 潘李亮 |
地址: | 315200 浙江省宁波市镇海区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电机 装置 | ||
1.一种直驱电机取晶装置,包括用于吹吸空气的动力装置、电机、设置在电机转轴上的摆臂、设置在摆臂上的气口以及用于连通动力装置与气口的气管,其特征在于:所述气管分为两部分,分别为第一气管以及第二气管,且所述电机的转子(1)内设有供空气流通的通道(2),所述第一气管一端与动力装置连通,第一气管另一端与电机的转子内的通道(2)一端连通,所述第二气管一端与电机的转子内的通道(2)另一端连通,且第二气管另一端与摆臂上的气口连通;所述电机包括外壳(3)以及转动连接在外壳内的转子(1),所述转子(1)靠近摆臂一端设有出气嘴(4),所述转子(1)远离摆臂一端设有进气嘴(5),且所述进气嘴(5)分别连接第一气管以及通道(2),所述出气嘴(4)分别连通第二气管与通道(2);它还包括控制器、分路阀以及气动抱紧机构,所述气动抱紧机构套设在转子外,所述分路阀一端出气嘴连通,所述分路阀的另一端两个出口分别与第二气管以及气动抱紧机构连通,且所述分路阀以及电机均与控制器电连接。
2.根据权利要求1所述的直驱电机取晶装置,其特征在于:所述转子(1)远离摆臂一端与进气嘴(5)之间还设有吸嘴连接件(6),且所述吸嘴连接件(6)与进气嘴(5)之间设有防漏气垫片(7)。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
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H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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